Ngăn chặn những mảnh vỡ: Giữ cho các wafer sạch sẽ khi bộ sưởi hồng ngoại bị hỏng
Nếu bạn đang vận hành nhà máy sản xuất bán dẫn với công suất cao, bạn chắc hẳn đã từng trải qua tình huống khủng khiếp này: chiếc bóng đèn thủy tinh bên trong buồng kiểm soát bị vỡ.
Điều tồi tệ không chỉ nằm ở thời gian ngừng hoạt động – dù điều đó cũng đã đủ tồi tệ rồi – mà còn ở việc các mảnh thủy tinh và các hạt vụn rơi trực tiếp lên các wafer của bạn. Đó quả là một thảm họa.
Chúng tôi thiết kế các bộ phận sưởi hồng ngoại sao cho điều này không bao giờ xảy ra.
Vấn đề liên quan đến nhiệt độ
Hầu hết các bóng đèn đều bị hỏng do có những điểm nóng quá mức, hoặc do bị sử dụng quá thường xuyên. Để khắc phục điều này, chúng tôi sử dụng thủy tinh tổng hợp có độ tinh khiết cao. Điều này giúp nhiệt lượng được phân bố đều hơn.
Nhưng bí quyết thực sự nằm ở việc đảm bảo vị trí của sợi dây tóc bên trong bóng đèn. Tại sao ư? Bởi vì nếu sợi dây tóc này di chuyển và chạm vào thành ống, thủy tinh sẽ nhanh chóng tan chảy. Khi đó, bóng đèn sẽ vỡ ngay lập tức.
Các biện pháp an toàn
Vì chúng ta không thể dự đoán hết mọi thứ, chúng tôi sử dụng hai biện pháp dự phòng để giữ cho khu vực làm việc luôn sạch sẽ.
Thứ nhất, chúng tôi có thể phủ một lớp chống vỡ lên bóng đèn. Có thể coi đó như một lớp bảo vệ cho bóng đèn – nó giúp giữ các mảnh thủy tinh lại với nhau ngay cả khi lớp kín bị vỡ.
Thứ hai, chúng tôi khuyên nên sử dụng một lớp bảo vệ bổ sung. Đó là một rào cản vật lý đơn giản, giúp ngăn các mảnh vỡ rơi xuống các wafer của bạn.
Pin, hệ thống làm mát và những rủi ro “ẩn giấu”
Mọi người đều muốn tăng tốc độ hoạt động của bóng đèn, điều đó đồng nghĩa với việc cần công suất cao hơn. Nhưng nhiệt độ cao sẽ gây hại cho bóng đèn. Chúng tôi sử dụng các điện cực được gia cố để tránh tình trạng bóng đèn bị hỏng do tác động của nhiệt độ cao.
Một điều cần lưu ý nữa là hệ thống thông gió. Nếu buồng kiểm soát không thể loại bỏ được nhiệt lượng, các đầu nối sẽ bị quá nóng. Khi đó, các đầu nối sẽ bị hỏng, gây ra hiện tượng phóng điện. Điều này thật tồi tệ.
Và xin hãy duy trì điện áp ổn định. Những biến động điện áp là nguyên nhân chính khiến bóng đèn bị hỏng. Việc sử dụng bộ điều khiển PID chuyên dụng sẽ giúp ngăn chặn những biến động điện áp này.