http://industrial-heating-ir.com/vi/tags/mems/ Recent content in MEMS on Industrial IR Heating Solutions Hugo vi Sun, 19 Jul 2026 16:25:20 +0800 http://industrial-heating-ir.com/vi/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Sun, 19 Jul 2026 16:25:20 +0800 http://industrial-heating-ir.com/vi/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Máy sấy wafer cảm biến MEMS"></p> <p><strong>Tại sao bạn nên bỏ phương pháp sấy bằng khí nóng và chuyển sang phương pháp sấy bằng tia hồng ngoại</strong></p> <p>Nếu bạn làm việc trong lĩnh vực chế tạo MEMS, chắc hẳn bạn đã từng trải qua cảm giác khó chịu khi phải sấy các tấm wafer sau quá trình etching hoặc làm sạch. Đó thực sự là một trở ngại lớn. Hầu hết các xưởng sản xuất mà tôi từng đến vẫn sử dụng phương pháp sấy bằng khí nóng. Đó là phương pháp “đáng tin cậy” nhưng thực ra lại rất chậm.</p>