http://industrial-heating-ir.com/vi/tags/quy-tr%C3%ACnh/ Recent content in Quy Trình on Industrial IR Heating Solutions Hugo vi Sat, 06 Jun 2026 04:13:08 +0800 http://industrial-heating-ir.com/vi/posts/ashing-process-heating-infrared/ Sat, 06 Jun 2026 04:13:08 +0800 http://industrial-heating-ir.com/vi/posts/ashing-process-heating-infrared/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Quá trình nung tro hồng ngoại"></p> <p>Trên sàn sản xuất, bạn không thể xem quá trình ashing như một hộp đen. Lớp photoresist còn lại sau khi bóc tách sẽ làm giảm năng suất, và nếu hồ sơ nhiệt không ổn định, bạn có thể làm hỏng cả lô. Ashing hồng ngoại với hệ thống gia nhiệt thiết kế riêng cung cấp ngân sách nhiệt lặp lại được, mỗi lần như vậy.</p> <p><strong>Điểm quan trọng về mặt kỹ thuật</strong><br> Chúng tôi tác động trực tiếp lên photoresist bằng các bộ phát hồng ngoại sóng ngắn—nhiệt truyền <a href="https://henruite.com">nhanh</a>, tập trung vào lớp resist, không vào lớp đỡ. Điều này giúp kiểm soát tốt mặ tiền ashing và duy trì độ đồng đều trên wafer ở ±0.1°C. Thiết bị được thiết kế phù hợp với phòng sạch cấp Class 1–100: một cụm khép kín, ít phát thải khí độc và đường dẫn nhiệt không có hạt bụi.</p>