Sấy Khô on Industrial IR Heating Solutions

Máy sấy wafer cảm biến MEMS

Sun, 19 Jul 2026 16:25:20 +0800

Tại sao bạn nên bỏ phương pháp sấy bằng khí nóng và chuyển sang phương pháp sấy bằng tia hồng ngoại

Nếu bạn làm việc trong lĩnh vực chế tạo MEMS, chắc hẳn bạn đã từng trải qua cảm giác khó chịu khi phải sấy các tấm wafer sau quá trình etching hoặc làm sạch. Đó thực sự là một trở ngại lớn. Hầu hết các xưởng sản xuất mà tôi từng đến vẫn sử dụng phương pháp sấy bằng khí nóng. Đó là phương pháp “đáng tin cậy” nhưng thực ra lại rất chậm.

Kiểm toán năng lượng cho quy trình sấy trong nhà máy

Fri, 26 Jun 2026 05:19:42 +0800

Trong quá trình sấy khô, bạn không phải lúc nào cũng có thể nhận ra các vấn đề đang xảy ra. Chỉ một sự chênh lệch nhỏ trong mức độ đồng đều của nhiệt độ cũng có thể khiến việc tiêu thụ năng lượng tăng lên, đồng thời dẫn đến lượng sản phẩm bị hỏng tăng lên. Trong quá trình sấy khô sau khi vệ sinh, cần có mức độ ổn định rất cao về nhiệt độ. Những điểm nóng, dù chỉ là nhỏ, cũng có thể gây ra các khuyết tật trên bề mặt sản phẩm; trong khi việc sưởi ấm kém hiệu quả lại chỉ làm lãng phí năng lượng và khiến quy trình sản xuất trở nên khó khăn hơn.

Đèn sấy màn hình linh hoạt fab

Mon, 01 Jun 2026 20:32:05 +0800

Trên dây chuyền màn hình linh hoạt, bước nung photoresist không phải là bước nền mà là cửa kiểm soát tỷ lệ sản phẩm đạt yêu cầu.
Chỉ cần lệch 1°C trong quá trình soft bake hoặc hard bake sẽ làm thay đổi kích thước quan trọng và kéo theo hiện tượng scumming. Đèn sấy không thể là biến số khác. Nó phải là hằng số nhiệt.

Điều thực sự quan trọng

Chúng tôi xây dựng đèn sấy cho màn hình linh hoạt xoay quanh việc cung cấp nhiệt đều và lặp lại được. Nguồn halogen phát bức xạ sóng ngắn trực tiếp lên bề mặt, giúp sấy nhanh, ưu tiên bề mặt. Nếu bạn xử lý các lớp phim dày hơn hoặc các lớp xếp chồng nhạy cảm với nhiệt, có thể lựa chọn cấu hình sóng trung và NIR.
Đồng đều nhiệt độ ở mức ±0.1°C trên toàn bộ vùng hoạt động của wafer, và kiểm soát điểm đặt nhiệt giữ trong phạm vi ±0.5°C ngay cả khi điện áp nguồn dao động. Hệ thống vận hành trong phòng sạch Class 1–100 mà không khuấy động bụi: bọc quartz kín, phụ kiện ít phát khí, và luồng khí tầng giữ cho số lượng hạt bụi ổn định.
Cường độ phát sáng giữ ổn định trong phạm vi 2% sau hơn 5,000 giờ hoạt động. Module đèn lắp trực tiếp vào các giao diện track tiêu chuẩn, có điều khiển 24 V và các tùy chọn đầu nối chắc chắn.