Đèn sưởi TEL (Tokyo Electron)

Tue, 02 Jun 2026 06:16:30 +0800

Out on the fab floor, bạn biết quy trình thế nào: một lần soft bake sai lệch chỉ 2 độ cũng có thể làm lệch kích thước quan trọng và biến nhiều sản phẩm thành phế phẩm. Độ đồng đều nhiệt trên toàn bộ wafer không phải là “điều kiện thêm vào.” Đó là yêu cầu bắt buộc. Đèn sưởi TEL cung cấp cho các cell lithography khả năng kiểm soát nhiệt cần thiết, chu trình này qua chu trình khác.
Những yếu tố quan trọng bên trong
Chúng tôi thiết kế đèn dựa trên phát xạ hồng ngoại sóng ngắn và cấu trúc quartz-halogen, điều chỉnh để truyền nhiệt nhanh chóng và ổn định vào lớp photoresist và nền wafer. Trên bề mặt nướng, độ đồng đều ở mức ±0.1°C, độ lặp lại điểm đặt nhiệt nằm trong khoảng mili giây. Hệ thống phù hợp với phòng sạch Class 1–100 mà không làm tăng lượng hạt; không sinh hạt được xác nhận qua giám sát trực tuyến trong quá trình hiệu chuẩn. Công suất duy trì ổn định từ khi khởi động đến hơn 5.000 giờ hoạt động, độ sai lệch công suất dưới 5% trong chế độ làm việc liên tục.
Tại sao điều này quan trọng trong xử lý photoresist
Soft bake và hard bake xác định chiều rộng đường nét, hình dạng và độ bám dính. Đèn sưởi TEL giữ chặt ngân sách nhiệt, cho phép kiểm soát giới hạn chặt hơn và giảm sai số vượt quá giới hạn. Kết quả là tỷ lệ thành phẩm cao hơn trên mỗi lô và giảm công việc chỉnh sửa do nướng không đồng đều. Lượng năng lượng tiêu thụ giảm vì đèn đạt nhiệt độ nhanh và giữ nhiệt ổn định mà không bị vượt nhiệt nhiều, đồng thời chu kỳ bảo trì dài giúp hạn chế thời gian ngưng máy theo lịch trình. Quy trình được mở rộng mà không ảnh hưởng đến năng suất.
Những điểm cần lưu ý
Đèn chỉ đạt chuẩn khi được phối hợp đúng với điện áp công cụ, giao diện đầu nối và hình học đường quang học. Giữ cho việc căn chỉnh khi thay thế chính xác và quartz luôn sạch sẽ — lệch vị trí hoặc dấu vân tay trên quartz sẽ làm giảm độ đồng đều nhiệt. Thời điểm thay thế nên trùng với đợt bảo trì định kỳ, và cần kiểm tra lại đường nhiệt sau mỗi lần lắp đặt để đảm bảo quy trình ổn định.

(Tokyo on Industrial IR Heating Solutions

Đèn sưởi TEL (Tokyo Electron)