http://industrial-heating-ir.com/zh/tags/%E5%BE%AE%E6%9C%BA%E7%94%B5%E7%B3%BB%E7%BB%9F/ Recent content in 微机电系统 on Industrial IR Heating Solutions Hugo zh Sun, 19 Jul 2026 16:25:29 +0800 http://industrial-heating-ir.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Sun, 19 Jul 2026 16:25:29 +0800 http://industrial-heating-ir.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="MEMS传感器晶圆干燥加热器"></p> <p><strong>为什么应该放弃热风干燥方式，转而使用红外线干燥？</strong><br> 如果你从事MEMS芯片的制造工作，那么你肯定知道，在经过湿法腐蚀或清洗处理后，如何快速干燥芯片是一项非常棘手的问题。这确实是个巨大的瓶颈。我走访过的许多工厂仍然在使用热风循环干燥<a href="https://o-yate.net">的方式</a>。<a href="https://o-yate.com">虽然这是一</a>种“可靠”的方法，但实际上效率很低。</p>