http://industrial-heating-ir.com/zh/tags/%E6%B5%8B%E8%AF%95%E6%A3%80%E9%AA%8C/ Recent content in 测试；检验 on Industrial IR Heating Solutions Hugo zh Sat, 27 Jun 2026 05:08:44 +0800 http://industrial-heating-ir.com/zh/posts/wafer-burn-in-test-heating-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 05:08:44 +0800 http://industrial-heating-ir.com/zh/posts/wafer-burn-in-test-heating-lamp/ <p><img src="http://industrial-heating-ir.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="晶圆烧伤测试加热灯"></p> <p>在芯片制造<a href="https://henruite.com">过程中</a>，烧录或光阻烘烤过程中产生的温度波动会很快显现出来——表现为线宽变化以及良率下降。如果让烘烤过程的温度控制不当，那么在蚀刻之后就会留下残留物，进而导致各种参数故障的增加。我们设计的晶圆烧录加热系统就是为了消除这些不确定性。</p> <p>该系统的核心是一盏装在石英外壳中的短波红外卤素灯，<a href="https://o-yate.com">它能实现快</a>速、精准的局部加热，响应时间可在几秒之内。在整个烘烤区域内，晶圆的温度均匀性可保持在±0.1°C以内，这样，每次烘烤时，光阻都能接收到相同的温度条件。在1-100级洁净室中，该系统可以确保没有颗粒物产生，从而保持掩模、镜头及晶圆表面的清洁。</p> <p>该系统的输出稳定性极高，即使运行5,000小时以上，其性能下降幅度也低于5%，因此无需频繁校准即可实现24/7不间断运行。</p>