确保温度准确：为何黄金反射器如此重要 在半导体制造过程中，仅仅“接近目标温度”是不够的。必须将温度精确控制在所需范围内。大多数人会使用普通的加热元件，但这样的做法存在问题：它们会将热量散发到各个地方。这就好比试图在窗户敞开的情况下给房间取暖一样。 因此，我们才会使用带有黄金反射器的短波红外灯。这样...

在晶圆制造现场，晶圆烘干温度的漂移会迅速反映在光刻胶轮廓上。你会在显影后看到T顶现象，蚀刻后则表现为线宽控制的偏差。我们开发了一款低成本的烘干灯泡，以排除热漂移的影响。 技术要点 该灯泡利用短波红外实现快速、局部加热，响应时间低于一秒。主要用于软烘和硬烘步骤，能将整片晶圆的设定点重复性控制在...