别再浪费热量了：为何金制反射器如此重要 在加热硅片时，每一瓦特的能量都是宝贵的资源。大多数人会使用普通的铝制反射器，但问题在于：铝会吸收大量能量，而不是将其引导到需要的地方。 因此，我们选择使用黄金作为反射材料。虽然听起来很高级，但实际上这只是出于实用性考虑。我们的目标就是确保红外能量能够直接作用...

在芯片制造工厂里，人们很快就会明白：光刻胶烘烤温度即使只有0.5°C的波动，也足以导致关键尺寸出现纳米级的变化。因此，晶圆红外加热系统必须能够提供稳定的加热效果，且不会在加热过程中产生颗粒物，同时也不影响生产效率。 真正重要的是什么？ 我们使用的晶圆红外加热模块采用短波卤素发光体，并配有闭环控制系...