V rámci řady 300 mm nemůžete dovolit žádné odchylky během procesu vypalování fotorezistu – ani půl stupně. Odchylka o 0,5 °C během vypalování stačí k tomu, aby došlo ke změnám kritických rozměrů a celý výrobek byl znehodnocen. Náhradní části topného prvku Axcelis jsou navrženy tak, aby udržovaly teplotní kontrolu v požadovaném rozmezí – při každém vypalování, při každé směně.
Co je důležité
Vybíráme takové prvky, které pracují s krátkovlnnými halogenovými zdroji světla vhodnými pro provozy Axcelis. Tyto prvky poskytují rychlé a cílené ohřevání s reakcí v řádu subsekund. Jednotnost teploty na povrchu destičky zůstává v rozmezí ±0,1 °C, což zajišťuje stabilitu jak procesu měkkého, tak i tvrdého vypalování. Křemíkové tělo a speciálně navržené konektory umožňují použití v prostředích s vysoce čistou atmosférou – až do třídy 1. Vznik částic je minimalizován. Lze očekávat opakovatelné výsledky po 5 000+ hodinách provozu, s odchylkami pod 5 %.
Průběh zpracování fotorezistu závisí na správné kontrole teploty. Nahrazením vadného prvku obnovíte požadovanou křivku vypalování, snížíte variabilitu rozměrů a omezíte ztráty způsobené teplotními vlivy. Rychlé ustálení teploty zkracuje dobu cyklu, aniž by došlo ke ztrátě kontroly nad procesem.
Spotřeba energie klesá, protože prvek se ohřívá pouze podle potřeby, nikoliv kvůli nadměrnému ohřevu. Spolehlivost znamená méně neplánovaných přerušení a méně preventivních výměn, takže čas provozu zůstává konstantní.
Zde jsou detaily, které vás ochrání před problémy: vyberte správnou náhradní část odpovídající konkrétnímu modelu komory a napětí. Zkontrolujte orientaci konektorů a tlak jejich spojení – jedna chyba v připojení může vést k problémům a předčasné poruše.
Plánujte výměny během plánovaných údržbových prací, ne během nouzových přerušení. Po instalaci očekávejte krátké období stabilizace. Před uvolněním výrobku proveďte rychrou kontrolu parametrů.