V prostředí lithografie může odchylka teploty o 0,5 °C způsobit posun šířky pruhu na úrovni několika nanometrů – což znamená ztrátu hodin práce v celém procesu. Vytvořili jsme stmívatelnou svítidlo na bázi polovodičů, aby se tato odchylka odstranila hned na začátku, a aby se termální řízení stalo spolehlivou součástí procesu, nikoli náhodným faktorem.
Co je technicky důležité
Svítidlo obsahuje krátkovlnný infračervený prvek umístěný uvnitř křemíkové obálky – ta je vybrána kvůli rychlé odezvě a stabilnímu spektru výstupu. Ovladač na bázi polovodičů umožňuje regulaci jasnosti s přesností 0,1 %, takže můžete použít uzavřené řízení s kalibrovaným pyrometrem nebo podle specifikací vašeho nástroje. V celé aktivní oblasti pečení zůstává rovnoměrnost teploty v rozmezí ±0,1 °C, přičemž opakovatelnost nastavených hodnot je lepší než ±0,2 °C.
Proč to v praxi funguje
Při měkkém a tvrdém pečení fotorezisty je potřeba přesně kontrolovat teplotu. S tímto svítidlem dosáhnete požadované teploty měkkého pečení přesně podle specifikací, poté lze přejít k tvrdému pečení bez překročení nastavených hodnot – čímž se snižují efekty spojené s povrchními vlivy a zadržováním rozpouštědel.
To znamená méně vad, přesnější kontrolu kritických rozměrů a méně odpadu. Spotřeba energie klesá, protože svítidlo rychle dosáhne nastavené teploty a udržuje ji konstantní. Spolehlivost svítidla je tak dostatečná pro 24/7 provoz bez neočekávaných výpadků.
Praktické detaily
Instalace vyžaduje spojení s nástrojem a kompatibilitu s EMV normami. Ovladač je citlivý na elektromagnetické rušení, proto ho je potřeba správně uzemnit podle schématu propojení. Maximální doba provozu je více než 5 000 hodin; po této době je potřeba znovu kalibrovat výstup, aby byla rovnoměrnost zachována.
Pokud změníte nastavené hodnoty o více než 10 %, počítejte s 30minutovým časem na dosažení termodynamické stability. Také je potřeba udržovat kalibraci pyrometru – jinak bude řízení stejně přesné jako kalibrace vašeho referenčního nástroje.