در فرآیند لیتوگرافی، تغییر ۰.۵ درجه سانتیگراد در دمای حرارتی میتواند باعث تغییر ضخامت خطوط روی سطح نمونه شود؛ این امر میتواند ساعتها کار را بیفایده کند. ما لامپ گرمایشی نیمههادی قابل تنظیم را طراحی کردیم تا این تغییرات را در همان ابتدا متوقف کند و کنترل حرارتی را به یک فرآیند قابل پیشبینی تبدیل کند.
از نظر فنی، چه چیزی مهم است؟
این لامپ از یک عنصر مادونقرمز با طول موج کوتاه درون یک غلاف کوارتزی استفاده میکند؛ این غلاف به دلیل پاسخ سریع و خروجی طیفی پایدار انتخاب شده است. درایور نیمههادی، خروجی لامپ را با دقت ۰.۱٪ کنترل میکند؛ بنابراین میتوانید کنترل حرارتی را با استفاده از پیرومترهای تنظیمشده انجام دهید. در منطقه حرارتی، یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ همچنین، تکرارپذیری مقادیر دمایی نیز بالاتر از ±۰.۲ درجه سانتیگراد است.
چرا این لامپ در عمل مؤثر است؟
برای فرآیندهای حرارتی مربوط به فوتورزیست، نیاز به کنترل دقیق و یکنواخت دما وجود دارد. با استفاده از این لامپ، میتوانید دمای مورد نیاز را دقیقاً مشخص کنید؛ سپس به تدریج دما را افزایش دهید، بدون اینکه از محدوده مشخص شده خارج شود. این کار باعث کاهش اثرات منفی ناشی از حرارت و نگهداری مواد حلشونده در سطح نمونه میشود.
جزئیات عملی:
برای نصب این لامپ، نیاز به سیستمهای کنترلی مناسب و سازگاری با استانداردهای EMC وجود دارد. درایور این لامپ حساس به نویزهای الکترومغناطیسی است؛ بنابراین باید آن را مطابق با شماتیکهای مربوطه به زمین متصل کرد. زمان کار مداوم لامپ بیش از ۵,۰۰۰ ساعت است؛ پس از آن، باید خروجی لامپ را دوباره تنظیم کرد تا یکنواختی دما حفظ شود.
اگر مقادیر دمایی را بیش از ۱۰٪ تغییر دهید، باید ۳۰ دقیقه زمان صرف شود تا لامپ به حالت پایدار برسد. همچنین، باید پیرومتر را به طور منظم تنظیم کنید؛ در غیر این صورت، دقت کنترل حرارتی مشخص نخواهد بود.