تنظیم دقیق دما در سیستمهای گرمایشی نیمههادی مبتنی بر امواج مادون قرمز
اگر قصد کاهش میزان کربن تولید شده در کارخانه خود را دارید، احتمالاً متوجه شدهاید که فرهای مقاومتی سنتی، مصرفکنندههای زیادی از انرژی هستند. استفاده از سیستمهای گرمایشی مبتنی بر امواج مادون قرمز راه حل مناسبی است. اما مشکل اینجاست که نمیتوانید به سادگی منبع گرما را تغییر دهید؛ بلکه نیاز به سیستمی دارید که بتواند با چرخههای حرارتی سریع کنار بیاید، بدون اینکه دچار اختلال شود.
ما سنسورهای خود را در داخل مجموعههای لامپهای مادون قرمز قرار میدهیم؛ جایی که دما بسیار بالاست.
مقابله با تأخیر در انتقال اطلاعات حرارتی
در سیستمهای گرمایشی نیمههادی، مرز بین «وضعیت عالی» و «وضعیت بد» بسیار باریک است. گاهی اوقات، دما آنقدر بالا میرود که ویفر آسیب میبیند. این وضعیت واقعاً وحشتناک است.
برای جلوگیری از این اتفاق، از سنسورهای نوع K یا N استفاده میکنیم؛ این سنسورها آنقدر مقاوم هستند که بتوانند در برابر تشعشعات لامپهای هالوژنی مقاومت کنند.
اما راز واقعی، قطر پروب سنسور است. ما قطر پروب را کم نگه میداریم؛ چرا؟ چون اگر قطر پروب زیاد باشد، باعث تأخیر در انتقال اطلاعات حرارتی میشود. تا زمانی که سنسور به کنترلر PID اطلاع دهد که دما بیش از حد است، آسیبها ایجاد شدهاند. این مانند رانندگی با سرعتسنجی است که پنج ثانیه عقبتر از واقعیت عمل میکند… این وضعیت خوبی نیست.
مقابله با نویز و مواد شیمیایی
فضاهای مربوط به تولید نیمههادیها، از نظر الکتریکی پر از نویز هستند. با وجود منابع تغذیه با ولتاژ بالا، اعداد مربوط به ولتاژ میتواند نامنظم شود. ما سیمهای سنسور را محافظت میکنیم تا از نویزهای الکتریکی جلوگیری شود؛ تا بتوانیم سیگنالهای درستی دریافت کنیم.
همچنین، استفاده از پوششهای مناسب نیز مهم است. اگر در فضای خلأ یا فضای خنثی کار میکنید، استفاده از فولاد ضدزنگ یا اینکونل مناسب است. اما باید تصمیم بگیرید که کدام پوشش مناسبتر است؛ پوشش ضخیمتر، سنسور را در برابر مواد شیمیایی محافظت میکند، اما سرعت واکنش سنسور را کاهش میدهد. این یک تعادل مداوم بین محافظت از تجهیزات و حفظ سرعت عملکرد سنسور است.
صرفهجویی در انرژی (و بودجه)
مزیت لامپهای مادون قرمز این است که فقط ویفر را گرم میکنند، نه کل اتاق. این روش، روشی هوشمندانهتر است.
سنسورهای ما، چرخه بازخورد لازم برای دستیابی به راندمان بالا را فراهم میکنند. وقتی این سنسورها را در یک سیستم حلقه بسته استفاده میکنیم، از افزایش ناگهانی دما جلوگیری میشود؛ این امر باعث صرفهجویی در مصرف انرژی میشود.