על רצפת המפעל, סטייה בטמפרטורת ייבוש המצע מופיעה במהירות — ישירות בפרופיל הפוטורזיסט. ניתן לראות זאת כתופעת T-topping לאחר הפיתוח, וכשבקרת רוחב הקו משתרפרת לאחר ההחמצה. פיתחנו נורת מנורה לייבוש בעלות נמוכה כדי למנוע סטייה תרמית מהמשוואה.
מה שחשוב מהבחינה הטכנית
המנורה מבוססת על אינפרא-אדום קצר גל לשם חימום מהיר וממוקד עם תגובה תת-שנייה. היא ממוקדת בשלבי ה-soft bake וה-hard bake, ומשמרת חזרתיות נקודת ההתייחסות בתוך ±0.1°C על פני המצע כולו. זה שומר על אחידות מימדים קריטית ללא חריגה מתקציב החום של הפוטורזיסט.
הפילמנט והמעטפת הקוורצת מותאמים לשימוש בחדרים נקיים מדרגה Class 1–100, ואנחנו אימתנו אפס יצירת חלקיקים באמצעות ניטור במיקום. תפוקת המנורה יציבה במשך מעל 5,000 שעות, עם ירידת עוצמה של פחות מ-5%.
מדוע היא עובדת בתאים ליתוגרפיה אמיתיים
הנורה משתלבת ישירות במסלולי ציפוי ואפייה קיימים — ללא צורך באישור מחודש של התנור כולו. העלייה המהירה בטמפרטורה מקצרת את חלון האפייה, מה שמצמצם את זמן המחזור תוך שמירה על פרופיל hard bake הדוק מספיק לסבילות תהליכי ההחמצה והשתילה.
צריכת האנרגיה נמוכה יותר ממערכות תאים שלמים, ובמועד החלפה התהליך פשוט במקום העבודה. אין צורך בכיול מחדש של כל ערימת החימום. התוצאה היא בקרת תהליך צפויה, פחות פסולת ופחות עצירות לא מתוכננות.
דברים שיש לזכור
המנורה מתאימה למחזיקים וחיבורים סטנדרטיים, אך יש לוודא את גאומטריית המנורה והפתח במכונת הציפוי או הייבוש שלך. עוצמת הפלט מכוונת לייבוש מצעים ואפיית פוטורזיסט — לא תחליף למקורות חימום לטמפרטורות גבוהות לאנאיל.
יש לשמור על נקיון משטח הקוורץ מנוזלים, ולוודא שזרימת האוויר בחדר הנקי אינה יוצרת גרדיאנטים תרמיים על פני המצע.