בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של 0.5 מעלות צלזיוס בטמפרטורת החימום יכול לגרום לשינוי בעובי הקווים ברמה של ננומטרים – דבר שעלול להרוס שעות של עבודה. פיתחנו נורת חימום מסוג שבבי שניתן לשלוט בעוצמתה, כדי למנוע שינויים אלו כבר בשלב הראשוני, וכדי שהבקרה התרמית תהיה תהליך חוזר ואמין, ולא דבר שתלוי במקרה.
מה חשוב מבחינה טכנית? הנורה משתמשת ברכיב אינפרא-אדום בעל גל ארוך, המונח בתוך מעטפת קוורץ – בחירה זו נועדה לאפשר תגובה מהירה ופלט ספקטרלי יציב. מנוע ההפעלה של הנורה מאפשר שליטה בעוצמת האור ברמה של 0.1%, כך שניתן לבצע בקרה מדויקת באמצעות פירומטר מדויק או לפי ההוראות של המכשיר. באזור החימום, האחידות בטמפרטורה נשמרת בטווח של ±0.1 מעלות צלזיוס, והדיוק בקביעת הטמפרטורה טוב יותר – בטווח של ±0.2 מעלות צלזיוס מבדיקה לבדיקה.
המכשיר מיועד לשימוש בחדרי עבודה נקיים מדרגה 1–100: חומרים שאינם פולטים גזים, אין פליטת חלקיקים, והעיצוב של המכשיר מאפשר ניקוי קבוע מבלי לפגוע באיזון של המכשיר.
למה זה עובד בפועל? בתהליכי חימום של חומרי פוטורזיסט, יש צורך בבקרה תרמית מדויקת ועקבית. עם נורה זו, ניתן להגיע לטמפרטורה הרצויה בדיוק כפי שנדרש, ולאחר מכן לעבור לחימום אינטנסיבי – דבר שמפחית את האפקטים השליליים של החומרים השונים. כתוצאה מכך, יש פחות פגמים, שליטה טובה יותר בממדים החשובים, ופחות פסולת. צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהנורה מגיעה לטמפרטורה הרצויה במהירות ונשארת שם, והאמינות של המכשיר מאפשרת פעולה 24/7 ללא הפסקות לא צפויות.
הפרטים הטכניים: ההתקנה דורשת אינטגרציה עם המכשירים האחרים ועמידות להפרעות חשמליות. מנוע ההפעלה רגיש להפרעות חשמליות, לכן יש לחבר אותו לקרקע כפי שמוצג בתרשים החיבורים. זמן הפעולה המרבי הוא 5,000 שעות; לאחר מכן יש לבצע כיול מחדש כדי לשמור על האחידות הנדרשת. כאשר משנים את הטמפרטורה ביותר מ-10%, יש להקצות 30 דקות להתחממות כדי להגיע ליציבות תרמית. כמו כן, יש לוודא שהפירומטר מכוונן כראוי – אחרת, הבקרה לא תהיה אמינה.