फैब्रिकेशन प्रक्रिया में, तापमान संबंधी विचलन को कोई स्वीकार्य सीमा नहीं माना जाता… यह तो एक गंभीर समस्या है। यदि तापमान में थोड़ा भी विचलन हो जाए, तो फोटोरेजिस्ट की संरचना प्रभावित हो जाती है… और यदि CSP स्टैक में तापमान समान रूप से न व्यवस्थित हो, तो उत्पादों में विकृतियाँ आ जाती हैं। वेफर-लेवल CSP केवल तभी काम करता है, जब तापमान नियंत्रण सटीक रूप से हो… और हर चरण में तापमान को न्यूनतम स्तर पर ही रखना आवश्यक है।
वेफर-लेवल CSP इन्फ्रारेड हीटर को ऐसे ही डिज़ाइन किया गया है कि यह छोटी तरंगदैर्घ्य वाले एनआईआर विकिरणों का उपयोग करे… ताकि फोटोरेजिस्ट एवं पॉलिमर डायइलेक्ट्रिकों द्वारा ऊर्जा आसानी से अवशोषित हो सके। ऊर्जा सीधे फिल्म में जाती है… और सब्सट्रेट में बहुत कम ऊर्जा ही जाती है। एक्टिव ज़ोन में तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है… और 24 घंटों में तापमान में केवल 0.2°C का ही विचलन होता है।
यह प्लेटफॉर्म क्लास 1–100 के क्लीनरूम मानकों के अनुरूप है… और इसमें ऐसी व्यवस्था है कि कोई भी कण बाहर न जा सके… कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियाँ, सील्ड क्वार्ट्ज विंडोज़, एवं लैमिनर एयरफ्लो व्यवस्था… ये सभी इस प्रक्रिया में संदूषण को रोकने में मदद करते हैं। “सॉफ्ट बेक”, “हार्ड बेक” एवं “अंडरफिल क्यूरिंग” – ये सभी एक ही तापीय इंजन द्वारा ही होते हैं… एक ही हीटर, कई चरण… और इन चरणों के बीच कोई पुनः सेटिंग की आवश्यकता नहीं है।
उत्पादन में इसके फायदे:
– साइकल टाइम कम हो जाता है… क्योंकि तापमान नियंत्रण बहुत ही सटीक होता है।
– ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है… क्योंकि केवल फिल्म ही गर्म होती है, न कि सब्सट्रेट।
– तापमान स्थिर रहने से फोटोरेजिस्ट की गुणवत्ता में सुधार होता है… और CSP स्टैक भी समान रूप से ही क्यूर होता है… जिससे विकृतियाँ एवं खाली जगहें कम हो जाती हैं।
– सिस्टम 24/7 चलता रहता है… और प्रीडिक्टिव थर्मल मॉनिटरिंग के कारण सर्विस इंटरवल भी बढ़ जाता है।
कुछ व्यावहारिक सुझाव:
– इंस्टॉलेशन के समय चेंबर के आकार एवं वेफर की सतह की विकिरण-क्षमता की जाँच आवश्यक है… क्योंकि परावर्तक सामग्रियाँ/धातुओं के कारण ऊर्जा अवशोषण में अंतर आ जाता है।
– हीटर को फिल्म स्टैक एवं रेसिपी के अनुरूप ही सेट किया जाना चाहिए… “एक-साइज-फॉर-ऑल” वाली व्यवस्था काम नहीं करेगी।
– उत्पादों की गुणवत्ता की जाँच हेतु एक छोटा सा टेस्ट आवश्यक है… ताकि सभी उत्पादों में एकरूपता सुनिश्चित हो सके।
– एक बार कैलिब्रेशन हो जाने के बाद, प्रक्रिया अधिक सटीक हो जाती है… और यही तो इस प्रणाली का उद्देश्य है।