Di bahagian litografi, perubahan suhu sebanyak 0.5°C semasa proses pembakaran boleh menyebabkan perubahan ketebalan garisan pada imej yang dihasilkan, sekaligus membuang hasil kerja yang telah dilakukan selama berjam-jam. Kami mencipta lampu pemanas berasaskan semikonduktor yang boleh dikawal kecerahannya, agar perubahan suhu dapat dikurangkan, dan pengawalan suhu dapat dilakukan secara konsisten, bukannya secara rawak.
Apa yang penting dari segi teknikalnya:
Lampu ini menggunakan unsur inframerah gelombang pendek di dalam kelongsong kuarsa – pilihan yang tepat kerana ia memberikan respons yang cepat dan output spektrum yang stabil. Pemacu semikonduktor yang digunakan membolehkan pengawalan kecerahan dengan ketepatan 0.1%, jadi kawalan berulang dapat dilakukan dengan lebih tepat. Kestabilan suhu di kawasan pembakaran adalah antara ±0.1°C, manakala ketepatan tetapan suhu pula melebihi ±0.2°C setiap kali pengoperasian dilakukan.
Mengapa ia berkesan dalam praktiknya:
Proses pembakaran fotoresist memerlukan kawalan suhu yang tepat dan konsisten. Dengan lampu ini, suhu pembakaran dapat dikawal dengan tepat mengikut arahan yang ditetapkan, dan proses pembakaran dapat dilakukan tanpa masalah. Ini akan mengurangkan kecacatan, meningkatkan kawalan dimensi kritikal, dan mengurangkan sisa bahan yang tidak digunakan. Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana lampu ini dapat mencapai suhu yang ditetapkan dengan cepat dan kekal stabil. Kebolehpercayaan lampu ini sangat tinggi, sehingga ia boleh beroperasi 24/7 tanpa gangguan.
Butiran praktikalnya:
Pemasangan lampu ini memerlukan sistem penghubung antara alat-alat yang digunakan, serta keserasian dengan sistem EMC. Pemacu lampu ini sensitif terhadap gangguan EMI, jadi ia perlu disambungkan ke sistem grounding yang sesuai. Masa operasi maksimum lampu ini adalah lebih dari 5,000 jam; selepas itu, perlu dilakukan kalibrasi semula untuk memastikan kestabilan suhu. Jika perubahan tetapan suhu melebihi 10%, perlu diberi masa 30 minit untuk lampu mencapai keadaan stabil. Pastikan alat pengukur suhu juga dikalibrasi dengan betul, agar hasil pengukuran yang diperoleh adalah tepat.