На этапе литографии даже небольшое изменение температуры в 0,5°C может привести к смещению ширины линий на уровне нескольких нанометров — что делает бесполезными часы работы над изделием. Мы разработали светильник с регулируемой мощностью, который позволяет предотвратить такие смещения на самом начальном этапе, а также обеспечивает точное контролирование температуры.
Что имеет значение с технической точки зрения
В светильнике используется инфракрасный элемент коротковолнового диапазона, расположенный внутри кварцевого корпуса. Такой корпус выбран благодаря быстрой реакции и стабильному спектральному выходу. Драйвер светильника обеспечивает точность регулировки мощности до 0,1%, что позволяет использовать замкнутый контур управления с использованием калиброванного пирометра или других инструментов для контроля температуры. В зоне нагрева температура остается стабильной в пределах ±0,1°C, а точность поддержания заданной температуры превышает ±0,2°C.
Светильник предназначен для использования в чистых комнатах класса 1–100: материалы, из которых он сделан, не выделяют вредных веществ, отсутствует выделение частиц, а конструкция позволяет регулярно очищать его без нарушения параметров работоспособности.
Почему это работает на практике
Для процессов нагрева фоторезиста необходимы строгие и стабильные параметры температуры. С помощью этого светильника можно точно достичь заданной температуры, а затем постепенно повысить её до необходимого уровня, избегая таким образом эффектов, связанных с воздействием электромагнитных полей и остаточного содержания растворителей. Это приводит к снижению количества дефектов, улучшению контроля за критическими размерами и сокращению количества бракованных изделий. Потребление энергии снижается, поскольку светильник быстро достигает заданной температуры и сохраняет её на постоянном уровне. Кроме того, светильник может работать 24/7 без перерывов.
Практические детали
Для установки светильника необходимы соответствующие механизмы блокировки и совместимость с системами ЭМС. Драйвер чувствителен к электромагнитным помехам, поэтому его необходимо правильно подключить к земле согласно инструкции. Максимальное время работы светильника составляет более 5,000 часов; после этого необходимо перекалибровать его для поддержания стабильности температуры. При изменении заданных параметров более чем на 10% необходимо предусмотреть 30 минут на достижение термостабильности. Также необходимо регулярно калибровать пирометр — иначе точность контроля будет зависеть от качества самого прибора.