На производственной площадке колебания температуры во время процедур закалки или сушки фотополимера проявляются очень быстро — это приводит к изменениям ширины линий на пластине и снижению её качества. Если не контролировать параметры процессов сушки, после обработки появляются остатки материала, что увеличивает вероятность возникновения ошибок. Мы разработали специальную систему нагрева для закалки пластин, чтобы устранить такую нестабильность.
Суть этой системы заключается в использовании галогенной лампы с коротковолновым инфракрасным излучением, расположенной в кварцевом корпусе. Это позволяет достигать быстрого локального нагрева с временем реакции менее одной секунды. В зоне нагрева однородность температуры на поверхности пластины сохраняется в пределах ±0,1°C, что обеспечивает равномерное нагревание фотополимера в каждом цикле. В чистых комнатах класса 1–100 процесс сборки происходит без образования частиц, что способствует сохранению чистоты масок, линз и поверхности пластин.
Качество продукции остается стабильным в течение более 5 000 часов работы, с отклонением менее 5%. Это позволяет эксплуатировать оборудование круглосуточно без необходимости постоянной корректировки параметров.
Именно благодаря этому лампа выполняет свою функцию: она позволяет поддерживать температуру, необходимую для правильной обработки фотополимера, обеспечивает правильный процесс скрепления молекул фотополимера перед процедурой литографии, а также предотвращает возникновение „горячих точек“ во время процедуры закалки. В результате достигается более точный контроль над размерами деталей, снижается количество необходимых корректировок, а также упрощается планирование процессов обработки. Кроме того, снижается потребление энергии, поскольку нагревается только целевая область, а не вся камера.
Установка лампы происходит просто: достаточно соответствующим образом подключить её к интерфейсу оборудования и убедиться в отсутствии препятствий на оптическом пути. Лампа работает с высокой интенсивностью, поэтому необходимо использовать защитные элементы и системы безопасности для защиты операторов и соседних устройств. Также необходимо регулярно проверять кварцевый корпус лампы, чтобы обеспечить его чистоту и стабильность в работе.