ในกระบวนการผลิตที่มีความแม่นยำสูงถึง 300 มม. คุณไม่สามารถอนุญาตให้มีความคลาดเคลื่อนในขั้นตอนการอบได้แม้แต่ครึ่งองศาเดียว ความผันผวนเพียง 0.5°C ในระหว่างการอบก็เพียงพอที่จะทำให้ขนาดของชิ้นส่วนเปลี่ยนไป และส่งผลให้ผลิตภัณฑ์ทั้งหมดเสียหายได้ อุปกรณ์เปลี่ยนใช้ของ Axcelis ถูกออกแบบมาเพื่อรักษาความเสถียรของอุณหภูมิไว้ภายในช่วงที่กำหนดไว้ ไม่ว่าจะเป็นการอบแต่ละครั้งหรือในแต่ละกะการทำงาน
สิ่งที่สำคัญจริงๆ
เราเลือกใช้อุปกรณ์ที่มีความสามารถในการปล่อยความร้อนแบบเจาะจง โดยใช้หลอดฮาโลเจนความยาวคลื่นสั้นที่เข้ากันได้กับเครื่องอบของ Axcelis อุปกรณ์นี้สามารถปล่อยความร้อนได้อย่างรวดเร็ว และมีความแม่นยำสูง ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนพื้นผิวของวงจรอิเล็กทรอนิกส์อยู่ที่ ±0.1°C ซึ่งช่วยให้การอบมีความเสถียรมากขึ้น ตัวเครื่องที่ทำจากควอตซ์และส่วนประกอบอื่นๆ สามารถใช้งานได้ในสภาพแวดล้อมที่มีความสะอาดสูง โดยมีการสร้างอนุภาคขึ้นมาเพียงเล็กน้อยเท่านั้น คาดว่าจะสามารถใช้งานได้อย่างต่อเนื่องเป็นเวลา 5,000 ชั่วโมงขึ้นไป โดยมีความคลาดเคลื่อนน้อยกว่า 5%
การประมวลผลฟอโตรีซิสต์นั้นต้องมีการควบคุมอุณหภูมิอย่างเข้มงวด การเปลี่ยนใช้อุปกรณ์นี้จะช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างมีประสิทธิภาพ ลดความแปรปรวนของขนาดชิ้นส่วน และลดการสูญเสียผลิตภัณฑ์ที่เกิดจากความผิดพลาดด้านอุณหภูมิ การปรับอุณหภูมิอย่างรวดเร็วจะช่วยลดเวลาในการผลิต โดยไม่ส่งผลต่อความแม่นยำของอุณหภูมิ
การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะอุปกรณ์นี้จะปล่อยความร้อนเมื่อมีความจำเป็นเท่านั้น ความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์นี้ช่วยให้ไม่มีการหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด และลดความจำเป็นในการเปลี่ยนอุปกรณ์ ทำให้เวลาการทำงานสามารถคงที่ได้
นี่คือรายละเอียดที่ช่วยให้คุณหลีกเลี่ยงปัญหาต่างๆ ควรเลือกอุปกรณ์ที่เหมาะสมกับรุ่นและแรงดันไฟฟ้าของเครื่องอบโดยเฉพาะ ตรวจสอบทิศทางของตัวเชื่อมต่อและแรงดันในการเชื่อมต่อด้วย หากมีข้อผิดพลาดเพียงเล็กน้อยก็อาจทำให้เกิดจุดร้อนและทำให้อุปกรณ์เสียหายได้
ควรเปลี่ยนอุปกรณ์ในช่วงเวลาที่เหมาะสม ไม่ใช่ในช่วงที่เครื่องหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด หลังจากติดตั้งเสร็จ ควรมีการปรับอุณหภูมิเล็กน้อยเพื่อให้อุปกรณ์ทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ ควรมีการตรวจสอบค่าอุณหภูมิก่อนปล่อยชิ้นงานออกมา