ในกระบวนการลิโทกราฟี การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิขณะอบเพียง 0.5°C เท่านั้น ก็สามารถทำให้ความกว้างของเส้นผ่านศูนย์กลางเปลี่ยนไปได้ถึงระดับนาโนเมตร ซึ่งอาจทำให้เวลาและความพยายามในการผลิตสูญเปล่าไปได้ เราจึงออกแบบหลอดไฟเพิ่มความร้อนแบบสามารถปรับระดับความร้อนได้ เพื่อหยุดยั้งการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมินี้ตั้งแต่เริ่มต้น และทำให้การควบคุมอุณหภูมิเป็นกระบวนการที่สามารถคาดเดาได้
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
หลอดไฟนี้มีองค์ประกอบอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นอยู่ภายในเปลือกควอตซ์ ซึ่งเลือกใช้เพราะมีความตอบสนองเร็วและมีสเปกตรัมที่มีเสถียรภาพ ส่วนตัวขับหลอดไฟนั้นมีความแม่นยำในการปรับระดับความร้อนถึง 0.1% ดังนั้นจึงสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ โดยอาศัยเครื่องวัดอุณหภูมิที่ได้รับการปรับเทียบแล้ว ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในพื้นที่อบอยู่ที่ ±0.1°C และความสามารถในการควบคุมอุณหภูมิให้คงที่อยู่ที่ >±0.2°C ในแต่ละครั้งที่ใช้งาน
เหตุผลที่มันได้ผลจริง
การอบวัสดุโฟโตเรซิสต์นั้นต้องมีการควบคุมอุณหภูมิอย่างเข้มงวดและสม่ำเสมอ หลอดไฟนี้ช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิให้เป็นไปตามที่กำหนดได้อย่างแม่นยำ และยังช่วยลดผลกระทบจากปัจจัยอื่นๆ เช่น ผลกระทบจากคลื่นแม่เหล็กไฟฟ้า ซึ่งช่วยลดข้อบกพร่องในการผลิต และลดปริมาณวัสดุที่เสียหายได้ นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะหลอดไฟสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็วและคงที่ และยังมีความน่าเชื่อถือสำหรับการใช้งาน 24/7 โดยไม่มีปัญหาใดๆ
รายละเอียดที่สำคัญ
การติดตั้งหลอดไฟนี้จำเป็นต้องมีการเชื่อมต่อกับอุปกรณ์อื่นๆ และต้องมีความเข้ากันได้กับระบบ EMC ด้วย ตัวขับหลอดไฟมีความไวต่อสัญญาณรบกวนทางไฟฟ้า ดังนั้นจึงต้องมีการเชื่อมต่อกับกราวด์ตามที่ระบุไว้ในแผนภาพการเชื่อมต่อ อายุการใช้งานสูงสุดอยู่ที่ 5,000 ชั่วโมง หลังจากนั้นจำเป็นต้องมีการปรับเทียบค่าอุณหภูมิอีกครั้ง เพื่อให้อุณหภูมิยังคงสม่ำเสมออยู่ หากมีการเปลี่ยนแปลงค่าอุณหภูมิมากกว่า 10% ควรมีเวลาในการปรับอุณหภูมิประมาณ 30 นาที เพื่อให้อุณหภูมิกลับมาสม่ำเสมออีกครั้ง นอกจากนี้ ควรมีการปรับเทียบเครื่องวัดอุณหภูมิอย่างสม่ำเสมอ มิฉะนั้นการควบคุมอุณหภูมิก็จะไม่แม่นยำ