ในโรงงานผลิตชิปนั้น บ่อยครั้งที่เราไม่สามารถมองเห็นปัญหาที่จะเกิดขึ้นได้ล่วงหน้า การเปลี่ยนแปลงเล็กน้อยในความสม่ำเสมอของอุณหภูมิระหว่างกระบวนการอบก็สามารถทำให้เกิดการใช้พลังงานที่สูงขึ้น และทำให้เกิดของเสียได้ ในกระบวนการอบแบบอ่อนและหลังการทำความสะอาด จำเป็นต้องมีความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในระดับต่ำมาก จุดที่มีอุณหภูมิสูง แม้จะเป็นเพียงเล็กน้อย ก็สามารถก่อให้เกิดข้อบกพร่องในรูปแบบของรอยขีดข่วนได้ ส่วนการใช้พลังงานที่ไม่มีประสิทธิภาพก็จะทำให้เกิดการสูญเสียพลังงาน และทำให้การทำงานในห้องที่มีสภาพแวดล้อมสะอาดยากขึ้น
สิ่งที่สำคัญจริงๆ เราใช้เครื่องปล่อยรังสีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นในการอบ ซึ่งช่วยให้เราสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำในระดับต่ำกว่าหนึ่งมิลลิเมตร ระบบนี้สามารถรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิไว้ที่ ±0.1°C ทั่วพื้นที่ที่มีการอบ และมีความสามารถในการทำซ้ำที่แม่นยำพอที่จะรักษาค่าอุณหภูมิให้คงที่ในแต่ละชุดผลิตภัณฑ์ การตอบสนองของระบบนั้นรวดเร็ว ทำให้เวลาในการอบลดลง และอุณหภูมิสามารถถึงค่าที่ตั้งไว้ได้ภายในไม่กี่วินาที นอกจากนี้ยังมีการตรวจสอบการใช้พลังงานด้วย โดยจะมีการบันทึกปริมาณพลังงานที่ใช้ต่อชุดผลิตภัณฑ์ อัตราการทำงาน และความแปรปรวนของอุณหภูมิ ทำให้การตรวจสอบการใช้พลังงานเป็นเรื่องง่ายและสามารถนำไปใช้ได้จริง
เหตุผลที่สิ่งนี้มีความสำคัญในกระบวนการลิโธกราฟีและการอบ ในกระบวนการลิโธกราฟีและหลังการทำความสะอาด จำเป็นต้องมีการอบที่ไม่ก่อให้เกิดการเคลื่อนที่ของอนุภาคหรือสร้างแรงกดดันให้กับฟิล์ม ระบบอินฟราเรดช่วยรักษาค่าอุณหภูมิของฟิล์มให้อยู่ในเกณฑ์ที่กำหนดไว้ ช่วยลดจำนวนอนุภาค และลดเวลาในการอบลง นอกจากนี้ยังช่วยลดการใช้พลังงานได้ โดยการลดการใช้พลังงานที่ไม่จำเป็น และยืดอายุการใช้งานของเครื่องปล่อยรังสีออกไป โดยปกติแล้วเครื่องปล่อยรังสีสามารถใช้งานได้นานกว่า 5,000 ชั่วโมง ผลลัพธ์ที่ได้คือการลดจำนวนการผลิตซ้ำ มีประสิทธิภาพในการผลิตที่คาดเดาได้ และมีการตรวจสอบการใช้พลังงานที่ชัดเจน โดยไม่ส่งผลกระทบต่อการควบคุมกระบวนการผลิต
สิ่งที่จำเป็นต้องทำให้ถูกต้อง การเลือกเครื่องปล่อยรังสีให้เหมาะสมกับวัสดุของพื้นผิวและชุดอุปกรณ์ที่ใช้ในการอบนั้นมีความสำคัญมาก การใช้อุปกรณ์ที่สามารถสะท้อนรังสีได้ดี และการกำหนดระยะห่างการติดตั้งที่เหมาะสม จะช่วยรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิไว้ได้ คาดว่าจะมีการปรับเปลี่ยนระบบเล็กน้อยเมื่อมีการปรับปรุงระบบ และควรตรวจสอบความเข้ากันได้ของห้องที่มีสภาพแวดล้อมสะอาดกับข้อกำหนดของห้องประเภท 1–100 ด้วย นอกจากนี้ยังควรมีการปรับเทียบเซ็นเซอร์เป็นระยะๆ เพื่อรักษาค่าอุณหภูมิให้อยู่ในช่วง ±0.1°C อย่างต่อเนื่อง