บนพื้นโรงงาน การหยุดทำงานที่ไม่ได้วางแผนไม่ต้องการการวิเคราะห์ย้อนหลัง—คุณเห็นได้จากเวเฟอร์ที่สูญหายและช่วงสเปคที่คุณพลาดไป เมื่อหลอดไฟห้อง PVD หยุดทำงาน งบประมาณความร้อนทั้งหมดสำหรับการทำงานนั้นจะอยู่ในระดับที่ต่ำ เราได้สร้างหลอดไฟ PVD นี้ขึ้นมาเพื่อป้องกันไม่ให้เกิดเหตุการณ์นี้ และมันทำงานตลอด 24 ชั่วโมง 7 วันโดยไม่ลดทอนคุณภาพ
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
หลอดไฟนี้ให้การตอบสนองความร้อนที่รวดเร็วและการกระจายที่แน่นหนาทั่วทั้งเป้า ทำให้ความร้อนอยู่ในระดับ ±0.1°C ในระหว่างขั้นตอนการอบที่สำคัญ โปรไฟล์อินฟราเรดคลื่นสั้นทำให้ถึงอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็ว ลดการชะลอความร้อนและช่วยให้คุณสามารถปรับโปรไฟล์การอบซอฟต์และฮาร์ดของฟิล์มโฟโต้เรซิสต์ได้ตามที่ต้องการ
วัสดุที่เข้ากันได้กับห้องสะอาดและการสร้างที่ปิดสนิทช่วยลดการสร้างอนุภาคให้เป็นศูนย์ ทำให้มันนั่งอยู่ในสภาพแวดล้อม Class 1–100 ได้อย่างสะดวก การออกแบบเส้นใยอายุการใช้งานยาวนานและซองควอตซ์ที่แข็งแกร่งเพิ่มช่วงระยะเวลาการบริการเข้าสู่หลักหมื่นชั่วโมง โดยการเบี่ยงเบนของเอาต์พุตต่ำกว่า 5% หลังจาก 5,000 ชั่วโมง
ทำไมมันจึงทำงานใน PVD
ใน PVD ความเสถียรของอุณหภูมิของซับสเตรตขับเคลื่อนอัตราการเคลือบ ความเครียดของฟิล์ม และการยึดเกาะโดยตรง หลอดไฟนี้รักษาโปรไฟล์ความร้อนให้สามารถทำซ้ำได้ในทุกการทำงาน ซึ่งหมายถึงการเกิดของเสียและการทำงานซ้ำที่น้อยลง คุณจะได้ฟิล์มที่มีความหนาสม่ำเสมอ ใช้พลังงานต่อเวเฟอร์น้อยลง และการเปลี่ยนหลอดน้อยลง
การขึ้นความร้อนที่รวดเร็วช่วยลดเวลาในการผลิตโดยไม่สูญเสียการควบคุมโปรไฟล์ และเอาต์พุตที่มีเสถียรภาพช่วยให้คุณอยู่ในช่วงกระบวนการที่เข้มงวดในหลายสูตร
รายละเอียดที่ปฏิบัติได้
การติดตั้งขึ้นอยู่กับการจับคู่ฐานหลอดไฟและตัวเชื่อมต่อกับอุปกรณ์ห้องของคุณ จากนั้นยืนยันความเข้ากันได้ของแรงดันไฟฟ้าและการระบายความร้อน ให้มันมีการอุ่นเครื่องเล็กน้อยเพื่อให้ถึงการแผ่รังสีในสถานะที่มั่นคง และวางแผนการขึ้นสูตรของคุณตามนั้น
รักษาของเหลวหล่อเย็นให้สะอาดและแห้ง และรักษาแรงดันไฟฟ้าในสายให้มีเสถียรภาพ ในระยะเวลานาน จัดตารางการตรวจสอบทางแสงเป็นประจำเพื่อรักษาความสม่ำเสมอ