Trong quy trình sản xuất, bạn biết rồi đấy: Chỉ cần có sự lệch lạc 0,5 độ trong quá trình nung chảy hóa chất phủ lên bề mặt wafer thôi cũng đủ khiến các kích thước quan trọng của wafer không còn nằm trong ngưỡng cho phép, từ đó làm hỏng toàn bộ lô sản phẩm. Độ đồng nhất về nhiệt độ và độ tinh khiết của hóa chất không phải là những con số được hiển thị trên bảng điều khiển; chúng mới chính là yếu tố quyết định việc có thể sản xuất ra sản phẩm tốt hay không.
Những yếu tố thực sự quan trọng Chúng tôi sử dụng các bóng đèn hồng ngoại không chứa ozone, giúp phát ra bức xạ sóng ngắn mà không tạo ra ozone. Nhờ vậy, môi trường trong phòng sạch vẫn được duy trì ổn định, ngay cả trong các khu vực có mức độ sạch từ 1–100. Cường độ bức xạ được điều chỉnh sao cho hóa chất phủ lên bề mặt wafer có thể hấp thụ nhanh chóng, đồng thời đảm bảo độ đồng nhất về nhiệt độ ở mức ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt wafer.
Số lượng hạt bụi cũng được kiểm soát chặt chẽ nhờ vào việc sử dụng vỏ bọc bằng thạch anh, cùng với các thiết bị được chế tạo để phù hợp với môi trường phòng sạch. Thân bóng đèn cũng được giữ ở nhiệt độ thấp, giúp bảo vệ các bộ phận quang học và các thành phần khác xung quanh. Độ tái lặp của quy trình cũng được kiểm soát chặt chẽ, đảm bảo rằng các thông số vẫn nằm trong giới hạn cho phép suốt cả ngày đêm. Độ ổn định của công suất đầu ra cũng được kiểm chứng sau 5.000 giờ hoạt động.
Tại sao chúng lại quan trọng trong quy trình in ấn Trong quy trình in ấn, những bóng đèn này thay thế cho các hệ thống cũ, vốn luôn gặp nguy cơ tích tụ ozone và có độ dao động về nhiệt độ cao. Nhờ đó, quá trình nung chảy hóa chất diễn ra nhanh hơn, giúp rút ngắn thời gian cần thiết để đạt đến trạng thái nhiệt độ mong muốn. Điều này giúp giảm thiểu lượng dung môi còn sót lại trên bề mặt wafer.
Mật độ các khiếm khuyết giảm xuống, số lần phải tái xử lý cũng ít đi, và việc kiểm soát độ chính xác kích thước wafer trở nên dễ dàng hơn. Việc tiêu thụ điện năng cũng giảm xuống nhờ vào hiệu suất cao của bóng đèn hồng ngoại. Thời gian bảo trì cũng kéo dài hơn, vì không có bóng đèn nào bị hỏng do quá trình hoạt động lâu dài.
Những yếu tố cần được xem xét trước khi lắp đặt Việc tích hợp các bóng đèn này vào hệ thống yêu cầu phải điều chỉnh đúng kích thước của bộ phản xạ ánh sáng và khoảng cách tập trung ánh sáng sao cho phù hợp với bề mặt wafer. Bạn cũng cần xác định đúng mức công suất đầu ra của bóng đèn để phù hợp với nhu cầu nhiệt độ của wafer có kích thước 200 mm và 300 mm.
Bóng đèn hoạt động ở điện áp đường dây, với dòng điện khởi động được xác định rõ ràng. Bộ điện tử điều khiển cũng cần được thiết lập sao cho phù hợp, nhằm tránh gây áp lực lên bóng đèn do sự thay đổi nhiệt độ. Thời gian cần thiết để bóng đèn đạt trạng thái nhiệt độ ổn định cũng khá ngắn. Bạn cũng cần đảm bảo rằng dòng không khí lưu thông xung quanh bóng đèn vẫn nằm trong giới hạn cho phép.