如何防止晶圆加热系统出现故障
在加热硅晶圆时，容不得任何失误。哪怕有一点点电弧或漏电现象，都可能毁掉整批晶圆，同时还会损坏控制板。这简直就是一场噩梦。
因此，我们将每一个灯管视为潜在的故障源。我们绝不冒任何风险。在产品离开工厂之前，每件产品都要经过高压测试和绝缘电阻测试。
物理学的残酷现实
要使热密度达到理想状态，就必须将石英外壳置于极限状态下。我们会花费大量时间来调整钨丝与管壁之间的间距。为什么呢？因为只要钨丝的位置有哪怕微小的变动，电场就会发生变化，从而导致绝缘层破裂。
我们的测试标准极为严格。我们会施加远高于实际生产中所需电压的电流。如果石英或端盖密封层无法承受这种压力，那么它们在设备中就无法正常工作。
不允许“随机抽样”
有些工厂只检测一批产品中的几件，希望能有个好结果。但我们不会这么做。每个灯管都必须经过全面测试。我们会监测不同电压下的漏电情况，确保绝缘电阻保持在理想水平。这样可以避免电流沿绝缘体表面泄漏的情况发生。如果在高湿度环境中操作，这种泄漏现象很容易导致电路短路。
需要了解的权衡问题
事实上，你不可能拥有一切。如果我们追求更高的绝缘性能，就需要使用更厚的石英材料或更大的安全间距。这可能会改变红外线的辐射特性，进而影响热量分布。你可能还需要调整焦距和PID控制器，才能让一切正常运转。另外，如果灯管的冷却系统不够强大，那就不要把功率设置得过高。否则，腔室内的真空度或气体纯度都会受到影响。没人希望出现这种情况。