晶圆加工设备用温度传感器

停止让机器的墙壁变热 大多数红外线灯的发热方式都很混乱——它们将热量向各个方向散射，即360度全方位散发。对于晶圆加工设备来说，这是个问题。因为这些能量并没有全部作用于晶圆上，而是大量浪费在了设备的内壁上。 这是一种能源的浪费。更糟糕的是，这还会让机器的外壳变得过热，甚至可能伤到人。 因此，我们采...