停止让机器的墙壁变热
大多数红外线灯的发热方式都很混乱——它们将热量向各个方向散射，即360度全方位散发。对于晶圆加工设备来说，这是个问题。因为这些能量并没有全部作用于晶圆上，而是大量浪费在了设备的内壁上。
这是一种能源的浪费。更糟糕的是，这还会让机器的外壳变得过热，甚至可能伤到人。
因此，我们采用定向加热的方式。
让热量准确作用于需要加热的地方
可以把它想象成从普通灯泡换成手电筒。我们使用内部反射器以及特殊涂层来引导辐射光束。这样一来，热量就能直接照射到晶圆上，而不会影响到设备的其他部分。这样就不必再浪费能源来加热空气和金属壁了。此外，设备的冷却系统也不需要那么辛苦地工作了。总的来说，这种方式对所有部件都更友好。
挑战与解决方法
虽然集中能量能提高晶圆表面的温度，但这也有其挑战性。如果光源距离晶圆太近，就会产生局部过热现象；而如果距离太远，光束就会散开，这样就失去了定向加热的意义。因此，必须精确调整光源的位置，才能确保机器的墙壁保持低温。
安全与实用性问题
保持墙壁低温不仅仅是为了节省电费，更是为了避免人员被烫伤。当设备内部保持低温时，维修和装卸晶圆的工作也会变得容易许多。
最棒的是，这些替代品可以直接替换现有的红外线灯管。我们使用石英外壳，这样就可以避免因热冲击而导致的破裂现象。
最后提醒一下：请务必检查电源参数。由于热量高度集中，其电流需求可能与普通灯泡不同。只要确保瓦数匹配即可。