Na výrobní podlaze nelze proces ashingu považovat za černou skříňku. Zbytky fotoresistu po strippingu sníží výtěžnost, a pokud není tepelný profil...

Na výrobní lince to znáte: měkké vypalování, které se odchýlí o dva stupně, může posunout kritické rozměry a způsobit vyřazení velkého množství kusů....