Hören Sie auf, Ihre Ausrüstung statt der Wafer zu erhitzen!
In einer Halbleiterfertigungsanlage ist es nicht nur ineffizient, die falschen Komponenten zu erhitzen – es stellt außerdem eine Gefahr dar. Wenn Sie Standardstrahler verwenden, kennen Sie sicherlich das Problem: Die Wärme verteilt sich überall. Bevor man es bemerkt, haben die Innenwände der teuren Maschinen bereits all diese Energie aufgenommen. Dadurch überhitzt das Gehäuse der Maschine – und plötzlich müssen die Bediener mit Sicherheitsrisiken umgehen, um die sie sich eigentlich keine Sorgen machen müssten.
Wir lösen dieses Problem, indem wir direktionale Infrarotlampen verwenden.
Die Logik ist ganz einfach: Die meisten Lampen strahlen Wärme in einem 360-Grad-Kreis aus. In einer engen Fertigungsanlage verwandelt sich diese verschwendete Energie im Grunde in einen „Riesenkühler“. Unsere Infrarotlampen sind anders: Wir nutzen spezielle Reflektoren sowie Wellenlängenanpassungen, um die Wärmeenergie in einen gezielten Strahl zu lenken. Dadurch trifft die Wärme direkt auf die Wafer oder Substrate. Die Wände bleiben dabei unberührt.
Es gibt jedoch ein Problem, das man berücksichtigen muss:
Die gute Nachricht ist, dass man an genau dem Ort, an dem man sie braucht, eine viel höhere Wärmestärke erhält – ohne dass der Rest des Raums zu einem Ofen wird. Das ist eine viel sicherere Arbeitsweise.
Aber es gibt auch einen Haken: Man muss sehr genau auf den Fokuspunkt achten. Da die Energie so konzentriert ist, kann schon eine kleine Fehlstellung des Lampsystems dazu führen, dass der heiße Punkt verschoben wird. Wenn sich der Punkt verschiebt, besteht die Gefahr, dass das Material beschädigt wird. Die Befestigungssysteme müssen daher absolut stabil sein. Wenn die Lampe auch nur ein paar Millimeter vibriert oder sich verschiebt, geht das thermische Profil verloren.
Einbau in die Fertigungsanlage
Für die meisten Trocknungsstationen ist der Einbau dieser Lampen äußerst einfach.
Wir achten sehr darauf, dass die Wärme nicht auf die Kabelverbindungen der Geräte wirkt.
Wenn man keine Energie mehr verschwendet, passieren ein paar Dinge: Die Stromrechnung sinkt, die Außenfläche der Geräte bleibt kühl. Und vielleicht das Beste: Man muss nicht mehr auf riesige, laute Kühllüfter oder teure Schutzsysteme angewiesen sein, damit die Maschine nicht überhitzt.