Einführung
Wir haben diese hochwertige RTP-Lampe entwickelt, damit sie in Halbleiterfabriken konkurrenzfähig ist – direkt neben den Produkten der großen amerikanischen und japanischen Hersteller. Das Ziel ist einfach: Die gleiche Qualität und Reproduzierbarkeit wie bei den Premium-Produkten – doch bei geringeren Kosten über die gesamte Lebensdauer der Lampe. So erhalten Sie eine konstante Wärmeleistung, selbst bei schnellen Prozessabläufen – ohne zusätzliche Kosten für das Etikett auf der Lampe.
Technische Details: Leistung, Spannung und thermische Eigenschaften
RTP-Lampen zeichnen sich dadurch aus, dass sie schnell erwärmen und dabei eine konstante Temperatur halten können. Unsere Lampe nutzt eine Hochspannungs-, Hochleistungsanordnung, um die benötigte Wärmestärke zu erzielen. Die 400-V-Eingangsspannung sorgt dafür, dass der Strom schnell durch den Filament fließt – somit entstehen schnelle Temperaturänderungen und eine stabile Temperaturhaltung. Die Länge des 300-mm-Glaselements sowie die präzise Fokussierung der Energie sorgen dafür, dass die Energie genau dorthin geleitet wird, wo sie benötigt wird. Dadurch wird keine Energie außerhalb der Zielzone verschwendet. Zwar bleibt so die Abmessung der Lampe klein – doch das bedeutet auch, dass die Kühl- und Elektriksysteme entsprechend ausgelegt sein müssen. Eine hohe Leistungsdichte ist dabei ein Vorteil – achten Sie jedoch darauf, dass Ihr Umfeldsystem dafür geeignet ist.
Materialien und Design: Halogen, Quarz, Beschichtung und R7s-Anschluss
Im Inneren der Lampe findet ein Halogenprozess in einem hochreinen Quarzkörper statt. Dadurch bleibt das Filament während des Betriebs sauber – was dazu führt, dass es mit der Zeit weniger schwarz wird und die Leistung konstanter bleibt – auch nach Tausenden von Zyklen. Eine spezielle reflektierende Beschichtung hilft dabei, die Infrarotenergie gezielt nach vorne zu lenken – dadurch landet mehr Energie auf dem Werkstück, und weniger geht als unnötige Wärme verloren. Der R7s-Anschluss ist ebenfalls sorgfältig gestaltet – er gewährleistet eine hohe Zuverlässigkeit bei hohen Temperaturen sowie einen einfacheren Austausch der Lampe. Dadurch kann die Lampe problemlos in Standardgeräten eingesetzt werden.
Anwendung und Vorteile: Konstante Qualität bei Kostenkontrolle
In einer Fabrik muss die Lampe jedes Mal auf dieselbe Weise funktionieren – Schuss für Schuss, Stunde für Stunde. Wir halten die Leistung und Abmessungen in engen Toleranzen, sodass Sie die Lampen austauschen können, ohne den gesamten Prozess neu kalibrieren zu müssen. Die Halogenchemie sowie der widerstandsfähige Quarzkörper tragen dazu bei, Abweichungen zu minimieren – dadurch bleibt das Heizprofil der Wafer konstant. Gleichzeitig wurde das Design so gestaltet, dass es einfach herzustellen und wartungsfrei ist. Dadurch sparen Sie Geld und Zeit. Sie erhalten somit die Leistung, die von hochwertigen RTP-Lampen erwartet wird – zusammen mit einer Kostenergie, die im Laufe der Lebensdauer der Lampe echte Einsparungen bringt.