Im Produktionsbereich ist es nicht immer möglich, Probleme im Voraus zu erkennen. Eine geringe Unregelmäßigkeit in der Wärmeverteilung während des Trocknungsprozesses führt dazu, dass mehr Energie verbraucht wird – und somit auch mehr Abfälle entstehen. Bei dem sanften Trocknen sowie nach dem Reinigungsprozess ist eine extrem hohe Stabilität erforderlich. Selbst kleine Hitzepunkte führen zu Defekten auf den Wafern. Ineffizientes Heizen wiederum verschwendet Energie und erschwert die Arbeit im Reinraum.
Was wirklich wichtig ist
Wir nutzen für das Trocknen Kurzwellen-Infrarotstrahler – dadurch können wir die Wärmeverteilung präzise steuern. Das System hält die Temperatur auf der Waferoberfläche innerhalb von ±0,1°C konstant. Die Wiederholgenauigkeit ist so hoch, dass die kritischen Temperaturen von Charge zu Charge konstant bleiben. Die Reaktionszeit ist kurz, sodass die Trocknungszeit reduziert wird und die Temperatur innerhalb weniger Sekunden auf den gewünschten Wert sinkt. Zudem gibt es eine integrierte Energiemonitoring-Funktion – pro Charge werden Verbrauchswerte, Leistungsentfaltung sowie Temperaturabweichungen aufgezeichnet. Dadurch lässt sich der Energieverbrauch leicht überwachen.
Warum das bei der Lithografie und beim Trocknen wichtig ist
Bei der Lithografie sowie nach dem Reinigungsprozess muss das Trocknen so erfolgen, dass keine Partikel bewegt werden und der Film nicht belastet wird. Das Infrarotprofil sorgt dafür, dass der Fotoleiter in allen Bereichen den erforderlichen Standards entspricht. Zudem wird die Anzahl der Partikel reduziert und die Prozesszeit verkürzt. Der Energieverbrauch sinkt durch die Reduzierung des Überhitzungspotenzials sowie durch die Verlängerung der Lebensdauer der Strahler – oft sind diese bis zu 5.000 Stunden lang nutzbar. Der Vorteil ist weniger Nacharbeiten, eine vorhersehbare Durchlaufzeit sowie eine Energiemessung, die echte Einsparungen zeigt, ohne die Prozesskontrolle zu beeinträchtigen.
Was wirklich wichtig ist, um alles richtig zu machen
Es ist wichtig, die Strahler so anzupassen, dass sie zum Substrat sowie zum Trägermaterial passen. Reflektierende Elemente sowie die richtige Befestigungsentfernung sorgen dafür, dass die Temperatur gleichmäßig verteilt wird. Für eine Nachrüstung ist eine leichte Anpassung der Anlage notwendig. Zudem muss geprüft werden, ob die Anlage den Anforderungen der Klassen 1–100 entspricht. Regelmäßige Kalibrierung der Sensoren ist ebenfalls notwendig, damit die Temperaturkonstanz von ±0,1°C gewährleistet bleibt.