Sicherstellen, dass die Heizdrähte für Halbleiter wirklich zuverlässig funktionieren
In der Welt der Halbleiter reicht bereits ein kleiner Stromschlag aus, um ganze Chargen von Wafern unbrauchbar zu machen. Das ist eine schreckliche Situation. Deshalb verwenden wir für diese Heizungen Drähte, die mit Teflon (PTFE) überzogen sind. Diese Materialien schmelzen nicht und geben bei hohen Temperaturen keine schädlichen Gase ab.
Aber es reicht nicht aus, nur das richtige Material zu verwenden. Die wirkliche Sicherheit entsteht dadurch, dass wir die Drähte gründlich prüfen, bevor sie unser Werk verlassen.
Warum wir jeden einzelnen Draht testen
Wir führen keine zufälligen Probenprüfungen durch – das wäre ein Risiko, das wir eingehen wollen. Stattdessen wird jeder einzelne Draht einer vollständigen Spannungstests sowie einer Isolationswiderstandsprüfung unterzogen. Dabei wird die Isolierung bis an ihre Grenzen belastet, um eventuelle Fehler wie Mikroporositäten oder winzige Lücken aufzudecken. Wenn ein Draht versagt, landet er direkt im Schrotthaufen.
Das bedeutet, dass Sie sicher sein können, dass der Strom genau dort fließt, wo er hingehört – nämlich innerhalb des Leiters – und nicht in das Gehäuse entweicht.
Die Vor- und Nachteile von PTFE
PTFE gilt als Goldstandard für Heizanwendungen. PVC würde in solchen Umgebungen bereits nach wenigen Sekunden verbrennen. Doch es gibt auch Nachteile: Teflon ist sehr rutschig – es lässt sich kaum mit anderen Materialien verbinden. Deshalb muss man besonders vorsichtig sein bei der Verbindung der Drähte. Man muss sicherstellen, dass die Verbindungen mechanisch fest sitzen – sonst könnte der Draht durch die Temperaturänderungen herausgleiten.
Schutz der Ausrüstung
Hochwertige Halbleiterwerkzeuge dulden keinerlei Leckströme. Durch gründliche Prüfungen der Isolation können wir das Risiko solcher Störungen minimieren. So erhalten Sie eine stabile Anlage. Ein kleiner Tipp: Überprüfen Sie Ihre Steckverbinder. Wenn diese nicht für dieselbe Temperatur geeignet sind wie die Drähte, dann nützt das beste Kabel nichts – der Stecker wird zur Schwachstelle in der Anlage.