Die richtige Temperatur bei der Erwärmung mit Infrarot-Halbleiterheizungen erzielen
Wenn Sie versuchen, den Kohlenstoffverbrauch in Ihrer Produktionsstätte zu reduzieren, haben Sie vermutlich festgestellt, dass herkömmliche Widerstandsofen enorme Energiemengen verbrauchen. Der Wechsel auf gezielte Infrarotheizung ist die beste Lösung. Doch es gibt ein Problem: Man kann nicht einfach nur die Heizquelle austauschen. Man benötigt eine Thermokoppel, die mit den schnellen Temperaturschwankungen umgehen kann, ohne Fehler aufzuweisen.
Wir bauen unsere Sensoren so, dass sie direkt in den Bereichen der Infrarotlampen angebracht werden – dort, wo die Hitze am stärksten ist.
Der Kampf gegen Verzögerungen
Bei Halbleiterheizungen ist die Grenze zwischen „perfekter“ und „versagerhafter“ Leistung äußerst schmal. In einem Moment ist alles in Ordnung, im nächsten Moment ist die Wafer bereits überhitzt und beschädigt. Das ist ein Albtraum.
Um das zu verhindern, verwenden wir hochwertige Thermokopplungen vom Typ K oder N. Sie sind stark genug, um der Strahlung der Halogenlampen standzuhalten, ohne auszufallen.
Doch das eigentliche Geheimnis liegt im Durchmesser der Sonde. Wir halten ihn möglichst klein. Warum? Weil eine zu dicke Sonde zu Verzögerungen führt. Wenn der Sensor dem PID-Controller mitteilt, dass die Temperatur zu hoch ist, ist der Schaden bereits entstanden. Es ist, als würde man mit einem Auto fahren, dessen Tachometer fünf Sekunden hinter der Realität zurückbleibt – das ist wirklich kein angenehmes Gefühl.
Umgang mit Störungen und Chemikalien
Halbleiterfabriken sind elektrisch sehr störanfällig. Aufgrund der hohen Spannungen der Infrarotquellen können die Messwerte ungenau werden. Wir schützen unsere Leitungen, damit solche Störungen vermieden werden und man einen sauberen Signal erhält.
Außerdem gibt es noch das Problem der Hülle der Sonde. Hier wird es knifflig. Wenn man in Vakuum oder einer inerten Atmosphäre arbeitet, eignet sich Edelstahl oder Inconel hervorragend. Doch man muss hier eine Entscheidung treffen: Eine dickere Hülle schützt den Sensor vor Chemikalien – doch sie verlangsamt gleichzeitig die Reaktionszeit. Es handelt sich dabei um ein ständiges Gleichgewicht zwischen dem Schutz der Ausrüstung und der Beibehaltung hoher Betriebsgeschwindigkeiten.
Energie sparen – und das Budget schonen
Der Vorteil von Infrarotlampen besteht darin, dass nur die Wafer erwärmt werden, nicht der ganze Raum. Das ist einfach intelligenter.
Unsere Thermokopplungen sorgen für eine effektive Rückkopplungsschleife, die dafür sorgt, dass die Effizienz maximiert wird. Wenn man diese in ein geschlossenes Regelungssystem integriert, wird das Problem der Temperaturspitzen beseitigt – dadurch werden Kilowattstunden Energie gespart. Dadurch bleiben die Energiekosten niedrig und der Energieverbrauch gering. Einfach so.