Reducir las emisiones de carbono en la fábrica: Por qué las lámparas infrarrojas de ultra alta pureza realmente funcionan
Si dirige una planta de procesamiento semiterminado, sabe muy bien la presión que existe para alcanzar los objetivos de neutralidad de carbono. No se trata solo de un requisito corporativo; es un verdadero problema energético. Una gran parte de esos residuos se genera durante el proceso de tratamiento térmico.
Durante años, hemos dependido del calentamiento por resistencia tradicional. El problema es que este método es ineficiente: hay que calentar toda la pared de la cámara para lograr que el wafer alcance la temperatura adecuada. Es como encender todos los calentadores de la casa solo para calentar una sola pieza de pizza.
Por eso pasamos a utilizar lámparas infrarrojas de ultra alta pureza. En lugar de calentar el aire y las paredes, estas lámparas calientan directamente al wafer.
Este es el secreto: Estas lámparas utilizan radiación infrarroja de onda corta. Mientras que la convección es lenta y depende del movimiento del gas, estas lámparas emiten fotones que impactan instantáneamente en la superficie del wafer.
Estas lámparas están diseñadas para tener una alta densidad de potencia, lo que significa que los tiempos de calentamiento son increíblemente rápidos. Al no tener que mantener temperaturas altas durante mucho tiempo, la cantidad de energía consumida por cada wafer disminuye. Es una ventaja tanto para el planeta como para la factura de electricidad.
Pero no basta con usar cualquier lámpara. En un entorno de ultra alta pureza, el “gasificación” es el enemigo número uno. Una pequeña impureza puede arruinar todo el lote. Por eso utilizamos cuarzo sintético con un contenido muy bajo de hidroxilos, para evitar que las impurezas metálicas lleguen al silicio.
Limpiamos estos componentes hasta niveles inferiores a sub-ppb. Si intenta ahorrar algo de dinero utilizando una lámpara industrial estándar, estará arruinando su rendimiento. Simplemente.
Pero hay un compromiso que hacer: Como estas lámparas generan mucha calor, sus sistemas de enfriamiento deben trabajar más duro. Es necesario asegurarse de que los sistemas de agua refrigerada puedan manejar esos picos de calor cercanos a la lámpara.
La buena noticia es que estas lámparas están diseñadas para reemplazar directamente a los equipos de CVD o de recocido que ya tiene. No hay necesidad de cambiar todo.
Al reducir el desperdicio de energía, se disminuye también la huella de carbono de toda la fábrica. Es una forma sencilla de ser más ecológico sin reducir la productividad.