در خط تولید ۳۰۰ میلیمتری، نمیتوان فاصله انحرافی بیشتری برای مرحله حرارتدهی در نظر گرفت. انحراف ۰.۵ درجه سانتیگراد در هنگام حرارتدهی کافی است تا ابعاد مهم محصول تغییر کند و کل محصولات از کار بیفتند. قطعات جایگزین گرمکن Axcelis به گونهای طراحی شدهاند که کنترل دما را در محدوده مشخصی حفظ کنند؛ یعنی در هر بار حرارتدهی و در هر شیفت کاری.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟ ما از این قطعات برای استفاده با منابع تولید حرارت موج کوتاه هالوژنی استفاده میکنیم؛ این منابع با محفظههای حرارتدهی Axcelis سازگار هستند. این قطعات حرارت را به سرعت و در جهت مشخصی تولید میکنند؛ پاسخگویی آنها در کمتر از یک ثانیه است. یکنواختی دما در سطح ویفر، در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ این امر باعث پایداری فرآیندهای حرارتدهی میشود. بدنه کوارتزی و پایانههای طراحی شده این قطعات، با استانداردهای کلاس ۱ سازگار هستند؛ تولید ذرات نیز در حد صفر است. میتوان انتظار داشت که این قطعات پس از ۵٬۰۰۰ ساعت کار، همچنان عملکرد خوبی داشته باشند و انحراف دما کمتر از ۵٪ باشد.
فرآیند پردازش فوتورزیست، در واقع مدیریت میزان حرارت مورد نیاز است. با استفاده از این قطعات جایگزین، میتوان منحنی حرارتدهی مورد نظر را دوباره به دست آورد، تغییرات ابعاد محصول را کاهش داد و محصولاتی که به دلیل تغییرات دما از کار میافتند، کاهش یافت. تنظیم سریع دما، زمان فرآیند را کوتاه میکند، بدون اینکه کنترل منحنی حرارتی از بین برود.
مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا این قطعات فقط در زمان نیاز به حرارت، فعال میشوند. قابلیت اطمینان این قطعات، باعث کاهش توقفهای غیرمنتظره و نیاز به تعویضهای پیشگیرانه میشود؛ در نتیجه، زمان کاری محصولات پایدار خواهد بود.
جزئیاتی که به شما کمک میکنند از مشکلات جلوگیری کنید: قطعات را باید با مدل دقیق محفظه و ولتاژ مربوطه سازگار کرد. همچنین باید محل اتصال قطعات را بررسی کرد؛ یک اشتباه در اتصال، میتواند باعث ایجاد نقاط گرم و خرابی زودهنگام قطعات شود.
تعویض قطعات را باید در زمانهای مناسب انجام داد؛ نه در زمان توقفهای اضطراری. پس از نصب، باید یک فرآیند گرمشدن سریع انجام شود؛ سپس باید پروفایل حرارتی محصولات را بررسی کرد، قبل از اینکه محصولات را از خط تولید خارج کنید.