در خط تولید، اختلافات دمایی نوعی تحمل قابل قبول نیستند؛ بلکه مانعی جدی بر سر راه فرآیند تولید هستند. حتی کمترین تغییر در دما نیز میتواند باعث اختلال در پروفایل فوتورزیست شود؛ همچنین، اگر لایههای CSP به طور یکنواخت خشک نشوند، منجر به تغییر شکل و کاهش کیفیت محصول میشود. روش CSP در سطح ویفر تنها زمانی کاربرد دارد که کنترل دما قابل تکرار باشد؛ همچنین، دما باید در تمام مراحل در محدوده خاصی باقی بماند.
آنچه اهمیت دارد این است که گرمکنهای مادون قرمز مورد استفاده برای روش CSP، بر اساس طول موجهای کوتاه NIR طراحی شدهاند؛ این طول موجها متناسب با میزان جذب انرژی توسط فوتورزیست و مواد الکتریکی است. انرژی به سرعت وارد لایههای مورد نظر میشود، و حرارت کمی به زیرلایهها منتقل میشود. در ناحیه فعال، یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ همچنین، تکرارپذیری این عملیات در طول ۲۴ ساعت در محدوده ۰.۲ درجه سانتیگراد است.
این سیستم برای استفاده در اتاقهای پاک با کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ همچنین، این سیستم به گونهای طراحی شده که هیچ ذرهای در فرآیند تولید ایجاد نشود؛ برای این منظور از موادی با انتشار گاز کم، پنجرههای کوارتزی بسته، و سیستم جریان هوای منظم استفاده شده است. روشهای گرم کردن مختلف نیز بر روی همین موتور حرارتی انجام میشوند؛ یعنی یک گرمکن، چند مرحله، بدون نیاز به تنظیم مجدد.
دلیل استفاده از این روش در تولید این است که زمان انجام فرآیند کاهش مییابد؛ زیرا فرآیندهای گرم کردن سریع انجام میشوند و هیچ اختلالی ایجاد نمیشود. همچنین، مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا فقط لایههای مورد نظر گرم میشوند، نه زیرلایهها. کنترل ابعاد حیاتی فوتورزیست نیز بهتر میشود؛ زیرا استабیلیت دما یکی از منابع ناهمگونی را از بین میبرد. لایههای CSP به طور یکنواخت خشک میشوند؛ بنابراین تغییر شکل و حفرههای ایجاد شده در لایهها کاهش مییابد.
در نهایت، این سیستم به صورت ۲۴/۷ کار میکند و هیچ توقف غیرمنتظرهای ندارد؛ همچنین، نظارت حرارتی پیشبینانه نیز باعث طولانیتر شدن زمان کارکرد سیستم میشود.
قبل از استفاده از این سیستم، چند نکته مهم وجود دارد: ابتدا باید اندازه اتاق تولید با ابعاد گرمکن مطابقت داشته باشد؛ همچنین، باید میزان بازتاب نور توسط سطح ویفر بررسی شود؛ زیرا اجسام بازتابنده یا ردپاهای فلزی میتوانند میزان انرژی جذب شده را تغییر دهند. گرمکن نیز باید متناسب با لایههای مورد نظر و دستورالعملهای مربوطه تنظیم شود؛ استفاده از پروفایلهای یکسان برای تمام محصولات مناسب نیست.
همچنین، باید یک آزمایش کوتاه انجام شود تا مقادیر مربوطه تعیین شوند و یکنواختی لایهها بررسی گردد. پس از تنظیم، بازه کنترل فرآیند کوتاهتر میشود؛ و این پیشبینیپذیری دقیقاً همان چیزی است که مورد نیاز است.