در کارخانه، تغییر دما در خشککردن ویفر سریعاً دیده میشود—مستقیماً در پروفیل فوتوریست. این تغییر را به صورت T-topping پس از دِولوپ و به عنوان نوسان کنترل عرض خط پس از اچ مشاهده میکنید. ما یک لامپ خشککن کمهزینه ساختیم تا انحراف حرارتی را از معادله حذف کنیم.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد
این لامپ بر پایه مادون قرمز موج کوتاه عمل میکند تا گرمایش سریع و موضعی با پاسخ کمتر از یک ثانیه ایجاد کند. هدف آن مراحل سافت بیک و هارد بیک است، که باعث تکرارپذیری نقاط تنظیم در محدوده ±0.1°C روی سطح ویفر میشود. این کار یکنواختی ابعاد بحرانی را حفظ میکند بدون اینکه بودجه حرارتی فوتوریست را بیش از حد مصرف کند.
فیلامنت و پوشش کوارتز برای استفاده در اتاق تمیز کلاس 1–100 ساخته شدهاند و با پایش در محل، تولید ذره صفر تأیید شده است. خروجی بیش از 5,000 ساعت پایدار باقی میماند و کاهش شدت کمتر از 5% است.
دلیل عملکرد در سلولهای لیتوگرافی واقعی
این لامپ بهراحتی در ریلهای روپوش/پخت موجود جای میگیرد—نیازی به ارزیابی مجدد کل کوره نیست. افزایش سریع دما، زمان پنجره پخت را کوتاه میکند که باعث کم شدن زمان چرخه میشود و در عین حال پروفیل هارد بیک کافی برای تحملهای اچ و ایمپلنت را حفظ میکند.
مصرف انرژی کمتر از سیستمهای کوره تماماتاق است و هنگام تعویض، تغییر در محل بهسادگی انجام میشود. نیازی به کالیبراسیون مجدد کل استک حرارتی نیست. نتیجه این کار کنترل فرایند قابل پیشبینی، کاهش ضایعات و توقفهای غیرمنتظره کمتر است.
نکاتی که باید در نظر داشت
این لامپ با پایهها و کانکتورهای استاندارد سازگار است، اما حتماً هندسه رفلکتور و دریچه در کوتر یا خشککن خود را دوباره بررسی کنید. شدت خروجی برای خشککردن ویفر و پخت فوتوریست تنظیم شده است و جایگزینی برای منابع انیلینگ با دمای بالا نیست.
سطح کوارتز را از هرگونه رسوب تمیز نگه دارید و مطمئن شوید جریان هوای اتاق تمیز شما باعث ایجاد گرادیان حرارتی در ویفر نمیشود.