
چگونه دمای مناسب را تعیین کنیم: چرا استفاده از بازتابندههای طلایی اهمیت دارد؟
هنگام فرآوری نیمههادیها، استفاده از دمای «تقریباً مناسب» کافی نیست؛ بلکه دما باید دقیقاً در محدوده مورد نیاز باشد. اکثر افراد از عناصر گرمایشی استاندارد استفاده میکنند، اما مشکل اینجاست که این عناصر گرما را به همه جا منتشر میکنند. این مانند تلاش برای گرم کردن یک اتاق با پنجرههای باز است.
به همین دلیل از لامپهای مادون قرمز با بازتابندههای طلایی استفاده میکنیم؛ این روش منطقیتر است.
راز، در طلاست.
فکر کنید به بازتابندههای آلومینیومی استاندارد؛ آنها قابل قبول هستند، اما مقدار قابل توجهی از انرژی مادون قرمز را جذب میکنند. اما طلا متفاوت است؛ حدود ۹۸ درصد از این انرژی را دوباره به سمت ویفر بازمیگرداند.
این تفاوت بسیار زیادی است؛ گرما دقیقاً به جایی میرود که باید برود، زمان لازم برای گرم شدن کاهش مییابد، و پروفایل دمایی نیز پایدار میماند. دیگر نیازی به حدس زدن نیست.
حالا، بیایید درباره هزینههای انرژی صحبت کنیم.
استفاده از روشهای سبز معمولاً شبیه به اصطلاحات شرکتی به نظر میرسد، اما در کارخانههای فرآوری نیمههادیها، این موضوع صرفاً مسئلهای مربوط به محاسبات ریاضی است. مهم این است که چه مقدار انرژی برای هر ویفر مصرف میشود. وقتی که پرتو گرما را متمرکز کنیم و اجازه ندهیم گرما به هوا سرایت کند، مقدار کمتری انرژی از شبکه برق استفاده خواهد شد.
علاوه بر این، سیستم تهویه هوا نیز نیازی به کار بیش از حد برای خنک کردن اتاق ندارد؛ زیرا دیگر کل ساختمان گرم نمیشود. این روش نه تنها برای سیاره مفید است، بلکه روشی هوشمندانه نیز محسوب میشود.
البته، این روش کاملاً جادویی نیست.
بازتابندههای طلایی دارای یک نقطه ضعف هستند؛ آنها حساس هستند. اگر فرآیند فرآوری شما باعث انتشار بخارات شیمیایی شود، لایه طلایی میتواند خراب شود یا حتی پوسته بردارد. این موضوع ناامیدکننده است.
باید از سیستم محافظتی خوبی برای این بازتابندهها استفاده کنید؛ وقتی که این بازتابندهها کثیف شوند، کارایی آنها کاهش مییابد. این یک تعادل است، اما اگر مراقب باشید، میتوانید از آن مدیریت کنید.
نکته مهم: این بازتابندهها در واقع جایگزین مناسبی برای سیستمهای IR قدیمی هستند. ما تراکم واتی این لامپها را بالا نگه میداریم تا نیازی به استفاده از فضای بیشتری نباشد.
فقط یک نکته مهم درباره سیمکشی: لامپهای مادون قرمز واکنش سریعی دارند؛ اگر تنظیمات PID لامپها مناسب نباشد، ممکن است دما بیش از حد افزایش یابد و اشیاء آسیب ببینند. حتماً سنسورها را کالیبره کنید و کنترلکنندهها را تحت نظارت داشته باشید؛ در این صورت، همه چیز خوب خواهد بود.