متوقف کنید این وضعیت فاجعهبار را: حفظ تمیزی ویفرهای شما در صورت خرابی گرمکنهای مادون قرمز
اگر در زمینه تولید نیمههادیها با بار سنگین کار میکنید، میدانید که چه وضعیت وحشتناکی پیش میآید. لامپ کوارتز موجود در دستگاههای شما ممکن است خراب شود.
مشکل فقط مربوط به توقف عملکرد دستگاه نیست؛ بلکه مشکل اصلی، وجود تکههای شیشهای و ذراتی است که مستقیماً روی ویفرهای شما میافتند. این واقعاً یک فاجعه است.
ما عناصر مادون قرمز را به گونهای طراحی کردهایم که چنین اتفاقی رخ ندهد.
مشکلات مربوط به گرما
بیشتر لامپها به دلیل وجود نقاط داغ یا چرخههای بسیار سریع، خراب میشوند. برای رفع این مشکل، از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این کار باعث میشود گرما به طور یکنواخت پخش شود.
اما راز واقعی در محل قرارگیری رشته الکتریکی است؛ اگر رشته تنگستنی از جای خود خارج شده و به دیواره لوله برخورد کند، شیشه بلافاصله ذوب میشود.
استفاده از راهکارهای ایمنی
از آنجایی که نمیتوانیم همه چیز را پیشبینی کنیم، از یک راهکار دوم برای حفظ تمیزی فضای کاری استفاده میکنیم.
اولاً، میتوانیم یک لایه مقاوم در برابر شکستن روی لامپ اضافه کنیم؛ این لایه مانند یک محافظ صفحه نمایش برای لامپ عمل میکند و حتی در صورت شکسته شدن درزها، کوارتز را در کنار هم نگه میدارد.
دوماً، از یک غلاف محافظتی برای جلوگیری از ورود تکههای شیشهای به ویفرها استفاده میکنیم. این غلاف یک مانع فیزیکی ساده است که تکههای شیشهای را قبل از رسیدن به ویفرها متوقف میکند.
مسائل مربوط به تأمین انرژی، خنککاری و ریسکهای پنهان
همه میخواهند سرعت راهاندازی دستگاهها بالاتر باشد؛ اما این کار باعث افزایش تدریجی دما میشود. ما از الکترودهای مستحکم استفاده میکنیم تا از خرابی الکترودها در نقاط تماس جلوگیری شود.
نکته مهم دیگر، سیستم تهویه است؛ اگر دستگاه نتواند گرمای تابشی را دور کند، سوکتها بیش از حد گرم میشوند. در این صورت، اتصالات دستگاه خراب میشوند و احتمال بروز جریان الکتریکی وجود دارد. این وضعیت خوبی نیست.
لطفاً، ولتاژ دستگاه را ثابت نگه دارید؛ نوسانات ولتاژ سریعترین راه برای خراب شدن لامپ است. استفاده از یک کنترلکننده PID، بهترین راه برای جلوگیری از این مشکلات است.