Arrêtez de chauffer les parois de votre machine
La plupart des lampes infrarouges émettent de la chaleur dans toutes les directions – à 360 degrés. C’est un problème dans le cas d’un outil utilisé pour travailler sur des wafer : au lieu que toute cette énergie atteigne le wafer, une grande partie se disperse et chauffe les parois intérieures de l’équipement. C’est un gaspillage d’énergie. Pire encore, cela rend l’extérieur de la machine suffisamment chaud pour brûler quelqu’un. C’est pourquoi nous utilisons une chaleur dirigée.
Diriger la chaleur là où elle doit être
Pensez-y comme si vous passiez d’une ampoule ordinaire à une lampe de poche. Nous utilisons des réflecteurs internes et des revêtements spéciaux pour diriger les rayons vers le wafer. En réduisant ainsi le faisceau, la chaleur atteint directement le wafer, sans affecter les parois de l’équipement. Vous évitez ainsi de gaspiller de l’énergie pour chauffer l’air et les parois en acier. De plus, le système de refroidissement de l’équipement n’a pas besoin de travailler autant. Tout devient donc plus simple.
La partie délicate (et comment y faire face)
Concentrer l’énergie change les choses : on obtient une densité de chaleur bien plus élevée à la surface du wafer. C’est idéal pour les outils nécessitant une grande précision, où l’uniformité de la température est essentielle. Mais il faut faire attention au point focal. Si la lampe est trop proche, on risque d’avoir des points chauds. Si elle est trop éloignée, le faisceau s’étale et on perd tout l’intérêt de cette approche. Il faut donc ajuster correctement l’alignement pour que les parois de la chambre restent froides.
Sécurité et autres aspects importants
Maintenir les parois froides, ce n’est pas seulement une question de facture d’électricité. C’est aussi une question de sécurité : il ne faut pas se brûler. Lorsque l’intérieur reste froid, la maintenance et le chargement des outils deviennent beaucoup moins stressants pour ceux qui effectuent le travail. Le meilleur aspect, c’est que ces lampes peuvent remplacer facilement les tubes infrarouges standards. Nous utilisons des enveloppes en quartz, afin qu’elles puissent résister aux chocs thermiques sans se fissurer. Un dernier conseil : vérifiez bien votre alimentation électrique. Comme la puissance générée est très concentrée, le courant requis peut être différent de celui habituellement nécessaire pour une ampoule ordinaire. Assurez-vous simplement que la puissance correspond, et tout ira bien.