Comment éviter que vos systèmes de chauffage pour les wafer ne explosent
Lorsque l’on chauffe des wafer en silicium, il n’y a absolument pas de place pour les erreurs. Un petit arc électrique ou une légère fuite de courant suffisent pour détruire toute une série de wafer et endommager les cartes de contrôle. C’est un véritable cauchemar.
C’est pourquoi nous considérons chaque tube comme une source potentielle de désastre. Nous ne prenons aucun risque. Chaque tube est soumis à des tests de résistance électrique avant même d’être expédié hors de notre usine.
Le côté effrayant de la physique
Pour atteindre une densité thermique adéquate, il faut pousser le quartz à ses limites. Nous passons beaucoup de temps à vérifier l’écart entre le filament en tungstène et la paroi du tube. Pourquoi ? Parce que si ce filament se déplace ne serait-ce que d’une fraction de millimètre, le champ électrique augmente. C’est alors que se produit une rupture diélectrique.
Nos tests sont extrêmement rigoureux. Nous appliquons une tension bien supérieure à celle utilisée en production. Si le quartz ou les joints ne résistent pas à ces conditions, ils ne survivront pas dans votre machine.
Pas de “échantillonnage aléatoire” ici
Certaines entreprises se contentent de tester quelques pièces d’un lot, espérant que tout ira bien. Nous ne faisons pas cela. Chaque tube est testé en détail. Nous surveillons la fuite de courant à différentes tensions, afin de garantir que la résistance isolante reste à un niveau approprié.
Cela empêche ce phénomène ennuyeux où l’électricité se propage sur la surface de l’isolant. Dans une salle de nettoyage à haute humidité, c’est généralement ce phénomène qui provoque des courts-circuits aléatoires.
Les compromis auxquels vous devez faire face
Voilà le problème : on ne peut pas avoir tout. Si nous cherchons une excellente isolation, nous devrons utiliser du quartz plus épais ou des espaces de sécurité plus larges. Cela peut changer le profil d’émission infrarouge et donc le flux de chaleur. Vous devrez probablement ajuster la distance focale et les contrôleurs PID pour obtenir de bons résultats. Un conseil : ne montez pas trop la puissance si votre système de refroidissement est insuffisant. Si les joints deviennent trop chauds, vous risquez de compromettre la qualité du vide ou du gaz dans la chambre. Et personne ne veut ça.