על רצפת הייצור, זמן השבתה לא מתוכנן לא זקוק לניתוח לאחר המוות—אתה רואה את זה בוופרים שאבדו ובחלונות ספציפיים שפספסת. כאשר נורת המנורה בחדר PVD נופלת, כל התקציב התרמי עבור הריצה נמצא באדום. בנינו את נורת ה-PVD הזו כדי למנוע את זה, והיא פועלת 24/7 מבלי לקצץ פינות.
מה שחשוב, מבחינה טכנית
נורה זו מביאה תגובה תרמית מהירה ואחידות מדויקת על פני היעד, כך שהטמפרטורה נשארת בטווח של ±0.1°C במהלך שלבי האפייה הקריטיים. פרופיל האינפרה אדום קצר הגל מגיע לטמפרטורה במהירות, מקטין את הפיגור התרמי ומאפשר לך לכוון את פרופילי האפייה הרכה והקשה של הפוטורזיסט כפי שאתה צריך.
חומרים תואמים לחדר נקי ובנייה אטומה שומרים על ייצור חלקיקים באפס, כך שהיא מתאימה היטב לסביבות Class 1–100. העיצוב עם חוט ארוך חיים ומעטפת קוורץ עמידה דוחפים את זמני השירות לעשרות אלפי שעות, עם סטיית פלט מתחת ל-5% לאחר 5,000 שעות.
למה זה עובד ב-PVD
ב-PVD, יציבות טמפרטורת הסובסטראט משפיעה ישירות על קצב ההפקה, מתח הסרט והדבקות. נורה זו שומרת על פרופיל תרמי חוזר, ריצה אחרי ריצה, מה שאומר פחות פסולת ועבודות מחדש. אתה מקבל אחידות בעובי הסרט, פחות אנרגיה לכל וופר ופחות החלפות נורות.
העלייה המהירה מקטינה את זמן המחזור מבלי לוותר על שליטת הפרופיל, והפלט היציב שומר אותך בתוך חלונות תהליך צמודים בכמה מתכונים.
הפרטים המעשיים
ההתקנה מתמקדת בהתאמת בסיס הנורה והמחבר להתקן החדר שלך, ואז אישור תאימות מתח וקירור. תן לה חימום קצר כדי להגיע ל irradiance יציב, ותכנן את עליות המתכון שלך סביב זה.
שמור על הקירור נקי ויבש, ושמור על מתח הקו יציב. במהלך קמפיינים ארוכים, תכנן בדיקות אופטיות שגרתיות כדי לשמור על אחידות.