Mengurangi Emisi Karbon di Proses Produksi: Mengapa Lampu Infra Merah UHP Sangat Efektif
Jika Anda menjalankan proses produksi setengah jadi, Anda pasti tahu betapa pentingnya mencapai tujuan netralitas karbon. Ini bukan sekadar syarat formal yang harus dipenuhi oleh perusahaan; ini merupakan masalah serius terkait konsumsi energi. Sebagian besar limbah energi berasal dari proses pengolahan termal yang digunakan dalam proses produksi.
Selama bertahun-tahun, kita bergantung pada sistem pemanasan resistif konvensional. Masalahnya adalah sistem ini tidak efisien. Kita harus memanaskan seluruh dinding ruang proses hanya untuk meningkatkan suhu wafer. Ini sama saja dengan menyalakan semua pemanas di rumah hanya untuk menghangatkan sepotong pizza saja.
Itulah mengapa kita beralih ke lampu infra merah berketahanan tinggi (UHP). Lampu ini tidak memanaskan udara atau dinding ruang proses, melainkan langsung memanaskan permukaan wafer.
Inilah rahasianya:
Lampu UHP menggunakan radiasi inframerah berpanjang gelombang pendek. Berbeda dengan sistem konveksi yang lambat dan membutuhkan aliran gas, lampu UHP mengirimkan foton yang langsung mengenai permukaan wafer.
Kami merancang lampu ini agar memiliki densitas daya yang tinggi, sehingga waktu yang diperlukan untuk memanaskan wafer menjadi sangat cepat. Dengan demikian, konsumsi energi per wafer pun berkurang. Ini tentu merupakan keuntungan bagi planet ini maupun tagihan listrik perusahaan.
Namun, Anda tidak bisa sembarangan memilih lampu yang akan digunakan. Dalam lingkungan UHP, “emisi gas” merupakan masalah besar. Satu saja kotoran kecil dapat merusak seluruh produk yang dihasilkan. Kami menggunakan kuarsa sintetis dengan kandungan hidroksil yang sangat rendah, agar kotoran logam tidak masuk ke dalam silikon.
Kami membersihkan komponen-komponen lampu hingga tingkat sub-ppb. Jika Anda mencoba menghemat uang dengan menggunakan lampu industri biasa, hasil produksi Anda akan menurun. Sangat sederhana.
Namun, ada trade-offnya:
Karena lampu UHP memiliki daya yang sangat tinggi, maka fluks panas yang dihasilkan juga tinggi. Meskipun jejak karbon berkurang, sistem pendinginan perlu bekerja lebih keras. Anda perlu memastikan bahwa sistem pendingin mampu menangani lonjakan suhu di sekitar lampu.
Berita baiknya adalah, lampu UHP dirancang untuk digunakan sebagai pengganti alat CVD atau annealing yang sudah ada. Tidak perlu mengganti semua peralatan tersebut. Dengan demikian, konsumsi energi seluruh pabrik pun berkurang. Ini merupakan cara yang efektif untuk menjadi lebih ramah lingkungan, tanpa menghambat kecepatan produksi.