액셀리스 히터 소자 예비 부품

300mm 생산 라인에서는 베이킹 과정에서 단 0.5도라는 미세한 온도 변동도 허용되지 않습니다. 포토레지스트를 베이킹할 때 0.5°C만큼의 온도 변동이 있어도 치명적인 결과가 발생할 수 있습니다. Axcelis의 히터 부품들은 공정 상의 온도를 항상 일정하게 유지하...