플렉서블 디스플레이 건조 램프 제조 시설

유연 디스플레이 라인에서 포토레지스트 베이크는 단순한 배경 공정이 아니다. 이는 수율을 결정하는 관문이다. 소프트 베이크나 하드 베이크에서 1℃의 변동은 크리티컬 디멘션을 이동시키고 스커밍 현상을 동반한다. 건조 램프는 또 다른 변수가 될 수 없다. 반드시 열적 상수...