Na linii produkcyjnej szybko widać efekty wahaniй temperatury podczas procesu testowania płytek krzemowych – objawiają się one jako odchylenia w szerokości linii na płytkach oraz spadek ich jakości. Jeśli pozwolić, aby profile nagrzewania były niestabilne, po procesie wytaczania pojawią się resztki materiału, a liczba awarii będzie rosła. Stworzyliśmy specjalny system grzewczy, który eliminuje tę zmienność.
Jego sercem jest halogenowa lampa podczerwieni o krótkich falach, umieszczona w osłonie z kwarcu. Dzięki temu uzyskuje się szybkie i lokalne nagrzewanie z czasem reakcji poniżej sekundy. Równomierność nagrzewania na całej powierzchni płytki wynosi ±0,1°C, dzięki czemu fotooporna warstwa otrzymuje taką samą ilość ciepła w każdym cyklu. W pomieszczeniach klasy czystości 1–100 proces montażu odbywa się bez żadnych zanieczyszczeń, co zapewnia czystość maski, soczewki oraz powierzchni płytki.
Wydajność pozostaje stała przez ponad 5 000 godzin, z odchyleniem poniżej 5%, więc urządzenie może pracować 24/7 bez konieczności ciągłej kalibracji.
To właśnie tutaj lampa sprawdza się najlepiej: dostosowuje temperaturę nagrzewania do właściwości fotoopornej warstwy, zapewnia odpowiednie warunki przed procesem litografii i umożliwia testowanie płytek bez tworzenia „gorących punktów”. Efektem jest lepsza kontrola jakości płytek, mniej konieczności przeróbek oraz możliwość planowania procesów produkcji. Ponadto zmniejsza się zużycie energii – lampa ogrzewa tylko celowany obszar, a nie całą komorę.
Instalacja jest prosta: wystarczy dopasować złącze narzędzia do odpowiedniego standardu oraz upewnić się, że droga optyczna jest wolna od przeszkód. Lampa pracuje przy wysokiej intensywności, więc konieczne są odpowiednie zabezpieczenia, aby chronić operatorów i inne urządzenia znajdujące się w pobliżu. Należy również regularnie sprawdzać kwarc, aby wszystko było czyste i zachowywało jednolitość termiczną.