Pare de aquecer as paredes da máquina
A maioria das lâmpadas infravermelhas emite calor em todas as direções – 360 graus. Em equipamentos utilizados para processamento de wafers, isso é um problema. Em vez de toda essa energia atingir o wafer, uma grande parte dela acaba aquecendo as paredes internas do equipamento.
Isso representa um desperdício de energia. Pior ainda: faz com que a superfície externa da máquina fique tão quente que pode causar queimaduras nas pessoas que trabalham nela.
É por isso que usamos sistemas de aquecimento direcional.
Direcionando o calor para onde ele realmente precisa ir
Pense nisso como trocar uma lâmpada comum por uma lanterna. Usamos refletores internos e revestimentos especiais para direcionar a radiação para o lugar certo. Ao concentrar o feixe de luz, o calor vai diretamente para o wafer, sem afetar as paredes do equipamento. Assim, você não precisa mais gastar energia aquecendo o ar e as paredes de aço. Além disso, o sistema de resfriamento da máquina também não precisa trabalhar tanto. É simplesmente mais fácil para tudo.
A parte complicada (e como lidar com ela)
A concentração de energia muda as coisas. Há uma maior densidade de calor na superfície do wafer, o que é ótimo para equipamentos que exigem precisão, já que a uniformidade da temperatura é fundamental.
Mas é preciso ter cuidado com o ponto focal. Se a lâmpada estiver muito perto, haverá pontos quentes demais. Se estiver longe demais, o feixe se espalha e perde-se o objetivo de direcionar o calor. É preciso ajustar corretamente o alinhamento para manter as paredes do equipamento frias.
Segurança e outros detalhes importantes
Manter as paredes frias não se trata apenas de reduzir as despesas com eletricidade. Trata-se também de evitar queimaduras. Quando o interior permanece frio, a manutenção e o carregamento dos equipamentos se tornam muito menos estressantes para as pessoas que realizam essas tarefas.
O melhor de tudo é que esses dispositivos podem substituir os tubos infravermelhos convencionais. Usamos invólucros de quartzo, que permitem que eles suportem os choques térmicos sem rachar.
Uma dica importante: verifique bem a fonte de alimentação. Como a saída de energia é muito concentrada, a corrente elétrica pode ser diferente daquela que você está acostumado com lâmpadas comuns. Certifique-se de que a potência esteja correta para que tudo funcione bem.