Fabrika zemininde, planlanmamış duruşların bir otopsiye ihtiyacı yoktur—kaybedilen wafer’larda ve kaçırılan spesifikasyon pencerelerinde bunu görürsünüz. Bir PVD odası lambası arızalandığında, çalışma için tüm termal bütçe kırmızıya döner. Bunu engellemek için bu PVD lambasını geliştirdik ve köşeleri kesmeden 24/7 çalışır.
Teknik Olarak Ne Önemli
Bu lamba hızlı termal yanıt ve hedef üzerinde sıkı bir uniformite sunar, böylece kritik pişirme adımları sırasında sıcaklık ±0.1°C içinde kalır. Kısa dalga kızılötesi profili sıcaklığa hızlı bir şekilde ulaşır, termal gecikmeyi azaltır ve fotoresist yumuşak pişirme ve sert pişirme profillerini ihtiyacınıza göre ayarlamanıza olanak tanır.
Temiz oda uyumlu malzemeler ve kapalı yapı, partikül üretimini sıfıra indirir, böylece Sınıf 1-100 ortamlarında rahatça kullanılabilir. Uzun ömürlü filament tasarımı ve dayanıklı kuvars zarf, hizmet aralıklarını on binlerce saate çıkarır; 5,000 saat sonra çıkış kayması %5’in altındadır.
PVD’de Neden Çalışır
PVD’de, alt tabaka sıcaklığı stabilitesi doğrudan depozisyon oranını, film gerilimini ve yapışmayı etkiler. Bu lamba, termal profilin her çalışmada tekrar edilebilir olmasını sağlar, bu da daha az atık ve yeniden işleme anlamına gelir. Tutarlı film kalınlığı, wafer başına daha düşük enerji ve daha az lamba değişimi sağlarsınız.
Hızlı ısınma döngü süresini kısaltır, profil kontrolünden ödün vermeden ve stabil çıkış, birden fazla tarifte sıkı işlem pencereleri içinde kalmanızı sağlar.
Pratik Detaylar
Kurulum, lamba tabanını ve konektörü odanızın donanımına eşleştirmeye, ardından voltaj ve soğutma uyumluluğunu doğrulamaya dayanır. Sabit durum ışınımına ulaşması için kısa bir ısıtma süresi verin ve tarif rampalarınızı buna göre planlayın.
Soğutucu sıvısını temiz ve kuru tutun ve hat voltajını stabil tutun. Uzun kampanyalar boyunca, uniformiteyi korumak için rutin optik muayeneler planlayın.