Trên sàn sản xuất, bạn không thể xem quá trình ashing như một hộp đen. Lớp photoresist còn lại sau khi bóc tách sẽ làm giảm năng suất, và nếu hồ sơ nhiệt không ổn định, bạn có thể làm hỏng cả lô. Ashing hồng ngoại với hệ thống gia nhiệt thiết kế riêng cung cấp ngân sách nhiệt lặp lại được, mỗi lần như vậy.
Điểm quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi tác động trực tiếp lên photoresist bằng các bộ phát hồng ngoại sóng ngắn—nhiệt truyền nhanh, tập trung vào lớp resist, không vào lớp đỡ. Điều này giúp kiểm soát tốt mặ tiền ashing và duy trì độ đồng đều trên wafer ở ±0.1°C. Thiết bị được thiết kế phù hợp với phòng sạch cấp Class 1–100: một cụm khép kín, ít phát thải khí độc và đường dẫn nhiệt không có hạt bụi.
Không tạo hạt bụi không phải chỉ là câu khẩu hiệu. Điều này được đảm bảo nhờ chọn vật liệu, quy trình lắp ráp sạch và thiết kế tránh luồng khí xoáy. Hệ thống cũng giữ nhiệt độ bake photoresist chính xác theo hồ sơ nhiệt soft bake và hard bake, đảm bảo khả năng lặp lại giữa các lô sản xuất.
Tại sao nó hoạt động trong thực tế
Trong các dây chuyền lithography và packaging, ashing phải theo kịp các công cụ cluster mà không bị chệch. Nhiệt hồng ngoại tăng nhanh, sau đó giữ ổn định, giúp tốc độ bóc tách duy trì đều và lượng dư sau ashing luôn dưới chuẩn quy định. Bạn giảm được lượng năng lượng tiêu thụ vì nhiệt được cung cấp theo nhu cầu—không mất năng lượng khi thiết bị không hoạt động.
Thời gian ngừng máy không kế hoạch cũng giảm. Các bộ phát có tuổi thọ cao, và kiến trúc mô-đun cho phép thay thế các mô-đun trong bảo trì định kỳ, không phải trong quá trình chạy quan trọng.
Những điều bạn cần biết
Ashing hồng ngoại yêu cầu căn chỉnh quang học chính xác và buồng phản xạ sạch. Kích thước cơ khí thắt chặt hơn so với hệ thống đối lưu, nên phải xác nhận diện tích đặt máy và truy cập bảo trì trước khi lắp đặt. Bạn cũng cần phải lựa chọn phổ phát xạ phù hợp với lớp resist và lớp nền; nếu không, sẽ có rủi ro làm quá nhiệt các màng nhạy cảm.
Sau khi căn chỉnh, cửa sổ quy trình đủ rộng để hoạt động liên tục 24/7 với kết quả ổn định.