Đèn gia nhiệt dùng để kiểm tra hiện tượng cháy wafer

Trong quá trình gia nhiệt để kiểm tra chất lượng wafer, những biến đổi nhiệt độ xảy ra rất nhanh – dẫn đến sự thay đổi về chiều rộng đường kẻ trên bề...